恭喜OLAS有限公司;凯美珀有限公司崔相俊获国家专利权
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龙图腾网恭喜OLAS有限公司;凯美珀有限公司申请的专利感光性高分子及包含它的抗蚀剂组合物获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114942569B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210138721.3,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权感光性高分子及包含它的抗蚀剂组合物是由崔相俊;金永善;吴载范设计研发完成,并于2022-02-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本感光性高分子及包含它的抗蚀剂组合物在说明书摘要公布了:本发明公开了一种包含衍生自化学式1或化学式2的乙烯基杂芳族化合物的重复单元的感光性高分子和包含该感光性高分子的抗蚀剂组合物。[化学式1][化学式2]在所述化学式1或2中,R1、R2是氢或甲基,X是碳、硫或氮原子,n表示1或2。
本发明授权感光性高分子及包含它的抗蚀剂组合物在权利要求书中公布了:1.一种感光性高分子,其包含衍生自乙烯基杂芳族化合物的重复单元,所述乙烯基杂芳族化合物是选自由具有下述结构的化合物所组成的群组中的任何一种, 在上述化学式中,R1是氢或甲基。
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