恭喜无锡中微高科电子有限公司顾自立获国家专利权
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龙图腾网恭喜无锡中微高科电子有限公司申请的专利一种装架台及利用该装架台的装架方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114927435B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210544837.7,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种装架台及利用该装架台的装架方法是由顾自立;冯梦奎;张如春设计研发完成,并于2022-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种装架台及利用该装架台的装架方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种装架台及利用该装架台的装架方法。本发明包括装架台主体、显微镜、中部盖板、产品入口盖板、显微镜入口盖板、分别连接于装架台主体两侧端的第一盖板和第二盖板以及连接于装架台主体底端的底板;装架台主体包括垂直于水平面的直板、与直板相连接且倾斜于水平面的斜板,直板设有操作孔以及操作孔盖,斜板设有安装槽,中部盖板通过安装槽连接于斜板,显微镜放置于底板上,中部盖板设有槽口,显微镜的目镜通过槽口露出于中部盖板外表面;第一盖板设有第一开槽,产品入口盖板通过第一开槽可拆卸地安装于第一盖板,第二盖板设有第二开槽。本发明可以保证小尺寸电路的封帽要求,且装架台气密性及可靠性均满足设计要求。
本发明授权一种装架台及利用该装架台的装架方法在权利要求书中公布了:1.一种装架台,其特征在于,包括装架台主体(1)、显微镜(2)、中部盖板(3)、产品入口盖板(4)、显微镜入口盖板(5)、分别连接于装架台主体(1)两侧端的第一盖板(6)和第二盖板(7)以及连接于装架台主体(1)底端的底板(8);所述装架台主体(1)包括垂直于水平面的直板(11)、与直板(11)相连接且倾斜于水平面的斜板(12),所述直板(11)设有操作孔(13)以及操作孔盖(14),所述斜板(12)设有安装槽(121),所述中部盖板(3)通过安装槽(121)连接于斜板(12),所述显微镜(2)放置于底板(8)上,所述中部盖板(3)设有槽口(31),所述显微镜(2)的目镜(21)通过槽口(31)露出于中部盖板(3)外表面;所述第一盖板(6)设有第一开槽(61),所述产品入口盖板(4)通过第一开槽(61)可拆卸地安装于第一盖板(6),所述第二盖板(7)设有第二开槽(71),所述显微镜入口盖板(5)通过第二开槽(71)可拆卸地安装于第二盖板(7);所述装架台主体(1)、底板(8)、第一盖板(6)和第二盖板(7)之间形成一腔体(9),所述腔体(9)连接有氮气充气管和气压检测管,所述氮气充气管用于通入氮气的氮气充气管,所述气压检测管与用于检测腔体(9)内气压的气压计(91)相连;还包括板压条(32)和移动划片(33),所述板压条(32)连接于中部盖板(3),所述槽口(31)两侧分别设有所述板压条(32),所述移动划片(33)通过两个板压条(32)连接于中部盖板(3)并能够沿槽口(31)表面移动,所述移动划片(33)设有开孔(331),所述显微镜(2)的目镜(21)露出于所述开孔(331);所述开孔(331)周围设有橡胶条(332),所述显微镜(2)的目镜(21)与所述橡胶条(332)接触。
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