恭喜深圳市优界科技有限公司卢国强获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市优界科技有限公司申请的专利一种直推式晶圆分选机及其晶圆分选工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115837358B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211595798.X,技术领域涉及:B07C5/00;该发明授权一种直推式晶圆分选机及其晶圆分选工艺是由卢国强;郑灿升;王勇;王俊涛设计研发完成,并于2022-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种直推式晶圆分选机及其晶圆分选工艺在说明书摘要公布了:本发明公开了一种直推式晶圆分选机及其晶圆分选工艺,包括水平设置的机台以及设置在机台上的料盒,料盒包括至少两个,至少两个料盒的顶部为开放面,还包括载盘搬运机构及晶圆转移机构;晶圆转移机构包括至少两组,至少两组晶圆转移机构设置在料盒的侧部;载盘搬运机构架设载料盒及晶圆转移机构上;晶圆转移机构包括晶圆承载组件、晶圆转移组件、检测组件及转移组件,晶圆承载组件及晶圆转移组件间隔设置;检测组件及转移组件分别设置在载晶圆承载组件及晶圆转移组件的侧部;检测组件从外侧抵住承载转盘的接晶粒部位。本发明采用近间隙竖向插装载盘,实现了自动检测及晶圆转移承载于一体,通过顶针直推实现晶粒快速转移,有效提升晶圆分选效率。
本发明授权一种直推式晶圆分选机及其晶圆分选工艺在权利要求书中公布了:1.一种直推式晶圆分选机,包括水平设置的机台(1)以及设置在机台(1)上的料盒(2),料盒(2)包括至少两个,至少两个料盒(2)的顶部为开放面,其特征在于:还包括载盘搬运机构(3)及晶圆转移机构(4),其中,所述料盒(2)的两个对称设置的内侧壁上分别设有至少两条卡槽,至少两条卡槽沿竖直方向设置,并向上延伸至料盒(2)的顶部开放面处,以便上下取放晶圆载盘;所述晶圆转移机构(4)包括至少两组,至少两组晶圆转移机构(4)设置在料盒(2)的侧部;所述载盘搬运机构(3)架设载料盒(2)及晶圆转移机构(4)上,载盘搬运机构(3)从料盒(2)内取出待分选的晶圆载盘并将其搬运至晶圆转移机构(4)内,并将晶圆转移机构(4)内分选完成后的晶圆载盘搬运回料盒(2);所述晶圆转移机构(4)包括晶圆承载组件(41)、晶圆转移组件(42)、检测组件(43)及转移组件(44),其中,所述晶圆承载组件(41)及晶圆转移组件(42)间隔设置,两者之间形成插装空间,以便分别插放承载载盘及转移载盘;所述检测组件(43)及转移组件(44)分别设置在载晶圆承载组件(41)及晶圆转移组件(42)的侧部;所述检测组件(43)从外侧抵住承载转盘的接晶粒部位,并检测转移载盘上的晶圆;所述转移组件从外侧将转移载盘上的晶粒分选转移至承载载盘上。
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