恭喜株式会社荏原制作所樋渡良辅获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社荏原制作所申请的专利镀覆装置以及镀覆装置的动作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118829749B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202280093218.9,技术领域涉及:C25D21/10;该发明授权镀覆装置以及镀覆装置的动作方法是由樋渡良辅;富田正辉;增田泰之;下山正设计研发完成,并于2022-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀覆装置以及镀覆装置的动作方法在说明书摘要公布了:本发明在整个电阻体高效地除去气泡。本发明包括:镀覆槽410,其构成为收容镀覆液;基板支架440,其构成为保持被镀覆面朝向下方的基板Wf;阳极430,其配置在镀覆槽410内;电阻体450,其配置在基板Wf与阳极430之间;搅拌部件480,其配置在基板Wf与电阻体450之间;以及驱动机构482,其构成为使搅拌部件480沿着基板Wf的被镀覆面往复运动,驱动机构482构成为,在用于除去附着于电阻体450的气泡的除泡处理时,执行使搅拌部件480以第一位置为中心进行往复运动的第一气泡除去动作、和使搅拌部件480以与第一位置不同的第二位置为中心进行往复运动的第二气泡除去动作。
本发明授权镀覆装置以及镀覆装置的动作方法在权利要求书中公布了:1.一种镀覆装置,其特征在于,包括:镀覆槽,所述镀覆槽构成为收容镀覆液;基板支架,所述基板支架构成为对被镀覆面朝向下方的基板进行保持;阳极,所述阳极配置在所述镀覆槽内;电阻体,所述电阻体配置在所述基板与所述阳极之间;搅拌部件,所述搅拌部件配置在所述基板与所述电阻体之间;以及驱动机构,所述驱动机构构成为使所述搅拌部件沿着所述基板的所述被镀覆面往复运动,所述驱动机构构成为,在用于除去附着于所述电阻体的气泡的除泡处理时,在所述基板以及所述基板支架未浸渍于收容在所述镀覆槽的镀覆液的状态下,执行使所述搅拌部件以第一位置为中心进行往复运动的第一气泡除去动作、和使所述搅拌部件以与所述第一位置不同的第二位置为中心进行往复运动的第二气泡除去动作。
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