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龙图腾网恭喜昆明理工大学申请的专利高性能纳米材料陶瓷薄膜器件的制造工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116621587B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310640068.5，技术领域涉及：C04B35/622；该发明授权高性能纳米材料陶瓷薄膜器件的制造工艺是由赵国荣;李永坤;郑富昭;李飞;杨振民设计研发完成，并于2023-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本高性能纳米材料陶瓷薄膜器件的制造工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了高性能纳米材料陶瓷薄膜器件的制造工艺，属于纳米陶瓷材料技术领域，包括以下步骤：S1、制备纳米材料：通过氧化铝与溶液反应制作氧化铝凝胶；S2、制备陶瓷薄膜：将氧化铝凝胶和靶材融合制备陶瓷薄膜；S3、烧结处理：将陶瓷薄膜进行烧结处理；S4、处理加工：将烧结后的陶瓷薄膜进行表面处理并进行测试，最后制成指定物品。在本发明一个或多个实施例中，选用粒径在10‑60nm的氧化铝颗粒，本发明中，通过采用颗粒具有较高的比表面积和较小的颗粒尺寸的氧化铝颗粒制作基底，可以提高基地的致密性和均匀性，从而提高陶瓷薄膜的质量和性能，同时，氧化铝与乙醇混合可以保证基地的纯度和稳定性，避免杂质对制备过程的干扰。

本发明授权高性能纳米材料陶瓷薄膜器件的制造工艺在权利要求书中公布了：1.高性能纳米材料陶瓷薄膜器件的制造工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1、制备纳米材料：通过氧化铝与溶液反应制作氧化铝凝胶；具体步骤为：将10ml乙醇倒入容量为50ml的烧杯中，加入0.1g氧化铝纳米颗粒，用超声波处理30-45min，再加入5ml乙酸，使其均匀分散，得到透明溶胶，将氧化铝基底放入溶胶中，浸泡10min，使溶胶中的氧化铝纳米颗粒沉积在基底表面，形成凝胶，将凝胶放置于干燥箱内进行干燥，得到氧化铝凝胶；S2、制备陶瓷薄膜：将氧化铝凝胶和靶材融合制备陶瓷薄膜；具体为：将氧化铝凝胶取出，放入烤炉中进行煅烧，煅烧时间为2-3.5h，得到氧化铝纳米粉末；将硅化铝靶放置于气相沉积设备中，通过高温高压的气相反应，将靶材表面的材料沉积在氧化铝纳米粉末上，形成薄膜，将薄膜放入烘箱中，在80℃下烘干30-50分钟，重复以上步骤2-5次，直至薄膜达到3cm；将制备好的薄膜放入烤箱内，在400-600℃下蒸烤2-4小时，使其结晶成陶瓷薄膜；S3、烧结处理：将陶瓷薄膜进行烧结处理；具体为：将陶瓷薄膜放置于熔炉内，熔炉内温度设置为1300-1800℃，烧制时间为3-5h，烧结压力为10-20MPa，陶瓷薄膜熔解并形成晶体结构，冷却后，取出烧结后的陶瓷薄膜；S4、处理加工：将烧结后的陶瓷薄膜进行表面处理并进行测试，最后制成指定物品。

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