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龙图腾网恭喜浙江泓芯新材料股份有限公司申请的专利一种石英舟热处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117913005B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410080061.7，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权一种石英舟热处理装置是由兰锋;郑涛;郑俊设计研发完成，并于2024-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种石英舟热处理装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种石英舟热处理装置，属于半导体加工。一种石英舟热处理装置，包括加热室、用于承载晶圆的石英舟、用于加热石英舟与晶圆的加热机构；所述石英舟包括连接件、两个对称设置的转动安装在连接件上的转动半体；所述转动半体上等间距设置有卡槽；两个转动半体运动至相互靠近的位置时，石英舟上的各个晶圆同轴排列，此时石英舟上相邻的两个晶圆的间隔为第一距离；两个转动半体分离后，石英舟上相邻的两个晶圆位于不同的转动半体上。本方案两个转动半体分离，使奇数位和偶数位的晶圆位于不同的转动半体上，增大晶圆之间的间距，让热量更加方便的进入各个晶圆之间，提高晶圆热处理的效率。

本发明授权一种石英舟热处理装置在权利要求书中公布了：1.一种石英舟热处理装置，其特征在于：包括加热室（1）、用于承载晶圆（24）的石英舟（2）、用于加热石英舟（2）与晶圆（24）的加热机构（3）；所述石英舟（2）包括连接件（22）、两个对称设置的转动安装在连接件（22）上的转动半体（21）；所述转动半体（21）上等间距设置有卡槽（212）；两个转动半体（21）运动至相互靠近的位置时，石英舟（2）上的各个晶圆同轴排列，此时石英舟（2）上相邻的两个晶圆的间隔为第一距离；两个转动半体（21）分离后，石英舟（2）上相邻的两个晶圆（24）位于不同的转动半体（21）上；所述加热机构（3）包括固定在加热室（1）内的侧板（31）、两个对称滑动在侧板（31）上的用于抵紧晶圆（24）的夹持杆（33）；所述侧板（31）上设置有两个分别与夹持杆（33）滑动的轨道；所述轨道包括与竖直设置的纵向滑槽（311）、与纵向滑槽（311）连通的呈圆弧形的弧形槽（312）；当夹持杆（33）位于弧形槽（312）内时，夹持杆（33）与晶圆抵紧，并带动晶圆与转动半体（21）转动；所述加热机构（3）还包括纵向滑动在侧板（31）上的滑动架（32）、与滑动架（32）固定连接的加热架（34）；各个所述夹持杆（33）沿水平方向滑动连接在滑动架（32）上；所述加热架（34）下端均匀安装有多个加热板（35）。

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