恭喜颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司郭振获国家专利权
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龙图腾网恭喜颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司申请的专利芯片制造设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222826359U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420512448.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型芯片制造设备是由郭振;王小锋;张贤亮设计研发完成，并于2024-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本芯片制造设备在说明书摘要公布了：一种芯片制造设备，包括：具有腔室的盖体、设置于腔室内的承载台、与腔室连通的输液管路和控制输液管路开启或关闭的输液阀，输液管路具有朝承载台出射稀释液体的出液口；输液阀为常开式阀体，在输液阀断电后，输液管路导通以使稀释液体从出液口流出。本实用新型在腔室内设置了输液管路，输液管路上设置有常开式的输液阀实现了在制造设备出现断电等异常后能够使输液管路开启，输液管路内喷射出水等流体，喷射出的流体从出液口喷出，并喷射到承载台上的晶圆表面，能够对晶圆表面残留的酸或碱等药液进行稀释，从而降低药液的腐蚀性，对晶圆起到保护的作用，避免了制造设备在出现故障后导致的放置在承载台上的晶圆报废。
本实用新型芯片制造设备在权利要求书中公布了：1.一种芯片制造设备，其特征在于，包括：具有腔室的盖体、设置于所述腔室内的承载台、与所述腔室连通的输液管路和控制所述输液管路开启或关闭的输液阀，所述输液管路具有朝所述承载台出射稀释液体的出液口；所述输液阀为常开式阀体，在输液阀断电后，所述输液管路导通以使稀释液体从所述出液口流出。
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