恭喜江西兆驰半导体有限公司钟伟获国家专利权
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龙图腾网恭喜江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种晶圆片清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222826360U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420560675.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆片清洗装置是由钟伟;罗昱;刘颖;张炳伟;吕守贵;郭磊;文国昇;金从龙设计研发完成，并于2024-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆片清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆片清洗装置，涉及清洗设备领域，包括槽体和设于所述槽体内的转动机构；所述转动机构包括沿所述槽体长度方向设置的旋转杆，和设于所述槽体内壁上的传动组件，所述旋转杆穿设于所述传动组件，卡塞放置于所述槽体内部，以使晶圆片的边缘抵靠于所述旋转杆的外周，所述传动组件带动所述旋转杆转动，进而带动晶圆片于所述卡塞内转动。本实用新型通过在槽体设置旋转杆，并将其外周抵靠于晶圆片的边缘，通过电机带动旋转杆转动，使得晶圆片在卡塞内部转动，保证晶圆片的边缘通过旋转可充分利用清洗液进行清洗或者刻蚀，避免不良品产生。
本实用新型一种晶圆片清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆片清洗装置，其特征在于，包括槽体和设于所述槽体内的转动机构；所述转动机构包括沿所述槽体长度方向设置的旋转杆，和设于所述槽体内壁上的传动组件，所述旋转杆穿设于所述传动组件，卡塞放置于所述槽体内部，以使晶圆片的边缘抵靠于所述旋转杆的外周，所述传动组件带动所述旋转杆转动，进而带动晶圆片于所述卡塞内转动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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