恭喜荣耀半导体材料(嘉善)有限公司洪巧水获国家专利权
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龙图腾网恭喜荣耀半导体材料(嘉善)有限公司申请的专利一种晶圆制程工艺中用的载具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222826372U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420568901.X，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种晶圆制程工艺中用的载具是由洪巧水;粘怡达;邬友权设计研发完成，并于2024-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆制程工艺中用的载具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆制程工艺中用的载具，包括盒体以及罩住盒体的盒盖，盒体的前侧开口并向内延伸形成容纳腔，容纳腔的两侧内壁上由上至下对应设有若干卡槽，盒盖闭光不透明设置，盒盖的前侧中心开设有矩形状的可视通孔，可视通孔内固定安装有用于封住可视通孔的可视透明板，可视透明板靠近可视通孔的后端设置，可视通孔内设有可移动的遮光板，遮光板位于可视透明板的前方设置，通过在盒盖的前侧安装可视透明板，并通过可移动的遮光板遮蔽可视透明板，在正常的输送状态下，遮光板遮住可视透明板，整个盒盖不透光；在需要观察内部晶圆时，打开遮光板，通过可视透明板观察内部情况，避免打开盒盖。
本实用新型一种晶圆制程工艺中用的载具在权利要求书中公布了：1.一种晶圆制程工艺中用的载具，其特征在于，包括盒体1以及罩住盒体1的盒盖2，所述盒体1的前侧开口并向内延伸形成容纳腔，所述容纳腔的两侧内壁上由上至下对应设有若干间隔的卡槽3，所述盒盖2闭光不透明设置，所述盒盖2的前侧中心开设有矩形状的可视通孔，所述可视通孔的上下两端分别靠近盒盖2的上端边沿以及下端边沿设置，所述可视通孔内固定安装有用于封住可视通孔的可视透明板4，所述可视透明板4靠近可视通孔的后端设置，所述可视通孔内设有可移动的遮光板5，所述遮光板5位于可视透明板4的前方设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人荣耀半导体材料(嘉善)有限公司，其通讯地址为：314112 浙江省嘉兴市嘉善县惠民街道鼎阳路1号1号楼B幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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