恭喜广西利兴数字科技集团有限公司李可获国家专利权
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龙图腾网恭喜广西利兴数字科技集团有限公司申请的专利一种用于晶圆研磨抛光的设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222818604U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420750563.1,技术领域涉及:B24B29/02;该实用新型一种用于晶圆研磨抛光的设备是由李可;杨存权设计研发完成,并于2024-04-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆研磨抛光的设备在说明书摘要公布了:本实用新型属于抛光的设备技术领域,尤其为一种用于晶圆研磨抛光的设备,包括设备主体,所述研磨盘的下方设置有第一漏斗,所述第一漏斗的出水口下方设置有第二漏斗,所述第二漏斗的底部贯通设置有引流箱,所述引流箱的一侧贯通设置有引流管,所述储水箱的顶部设置有循环泵。本实用新型通过安装有第一漏斗和第二漏斗,清洗液将通过研磨盘的表面流入设备主体的内部,之后清洗液将流入第一漏斗内,之后清洗液通过收集盘流入引流箱内,通过循环泵的吸收端吸力,可将储水箱内的清洗液通过引流管吸收进入储水箱内,从而形成了清洗液的循环利用效果,有效的解决了使用后清洗液通常无法循环利用,将通过出水管道排至外界造成浪费的技术问题。
本实用新型一种用于晶圆研磨抛光的设备在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆研磨抛光的设备,包括设备主体1,其特征在于:所述设备主体1内贯通设置有研磨盘12,所述研磨盘12的下方设置有第一漏斗2,所述第一漏斗2的出水口下方设置有第二漏斗212,所述第二漏斗212的底部贯通设置有引流箱3,所述引流箱3的一侧贯通设置有引流管31;所述设备主体1内设置有储水箱32,且储水箱32的一侧与引流管31相贯通连接,所述储水箱32的顶部设置有循环泵321,所述循环泵321的吸收端设置有吸水管322,且吸水管322延伸至储水箱32的内部,所述设备主体1上设置有淋喷管13,且淋喷管13的底部与循环泵321的输出端相连接。
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