恭喜北京晶亦精微科技股份有限公司舒福璋获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利一种晶圆双面清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222826392U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420803255.0，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆双面清洗装置是由舒福璋;石启鹏;李伟;尹影设计研发完成，并于2024-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆双面清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆双面清洗装置，晶圆双面清洗装置包括支撑机构和一对清洗机构，所述支撑机构设置有旋转台，所述旋转台上设置有晶圆；在所述旋转台旋转时，所述晶圆随同所述旋转台进行旋转；一对清洗机构分别设置在所述晶圆的上侧和下侧；在外力作用下，所述清洗机构具有与所述晶圆贴合的第一状态，以及与所述晶圆分离的第二状态；一对清洗机构均与所述晶圆贴合后，同步在所述晶圆的上表面和下表面沿所述晶圆的径向方向进行往复运动。在本实用新型中，通过设置上述机构，能够避免晶圆变形或破裂，进而提供了晶圆的良品率。
本实用新型一种晶圆双面清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆双面清洗装置，其特征在于，包括：支撑机构1，设置有旋转台，所述旋转台上设置有晶圆100；在所述旋转台旋转时，所述晶圆100随同所述旋转台进行旋转；一对清洗机构2，分别设置在所述晶圆100的上侧和下侧；在外力作用下，所述清洗机构2具有与所述晶圆100贴合的第一状态，以及与所述晶圆100分离的第二状态；一对清洗机构2均与所述晶圆100贴合后，同步在所述晶圆100的上表面和下表面沿所述晶圆100的径向方向进行往复运动。
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