恭喜江苏微导纳米科技股份有限公司浦锡伟获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利尾气处理组件和镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222821639U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420884628.1,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型尾气处理组件和镀膜设备是由浦锡伟;陈程设计研发完成,并于2024-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本尾气处理组件和镀膜设备在说明书摘要公布了:本申请公开了尾气处理组件和镀膜设备。尾气处理组件包括进气管道、冷却器、过滤器、负压泵和过气管道。进气管道与工艺管连通。冷却器包括本体和冷却管道。本体具有进气口和出气口,冷却管道一端连接进气口,另一端连接进气管道。出气口与过滤器连通,在过滤器与出气口之间设置有第一阀门。过滤器与负压泵连通。过气管道的一端连接出气口,过气管道的另一端连接负压泵,过气管道设置有第二阀门。通过上述方式,本申请能够对镀膜设备的尾气进行充分处理,减少尾气处理组件堵塞的技术问题。
本实用新型尾气处理组件和镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种尾气处理组件,其特征在于,包括:进气管道,用于与工艺管连接;冷却器,所述冷却器包括本体和冷却管道,所述本体具有进气口和出气口,所述冷却管道连接所述进气口与所述进气管道;过滤器,所述出气口与所述过滤器连通,在所述过滤器与所述出气口之间设置有第一阀门;负压泵,所述过滤器与所述负压泵连通;过气管道,所述过气管道的一端连接于所述出气口,所述过气管道的另一端连接于所述负压泵,所述过气管道设置有第二阀门。
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