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龙图腾网恭喜弗兰霍菲尔运输应用研究公司申请的专利具有大流体有效表面的MEMS获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113614022B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080022805.X，技术领域涉及：B81B7/02；该发明授权具有大流体有效表面的MEMS是由塞尔久·兰加;霍尔格·康拉德;贝尔特·凯泽设计研发完成，并于2020-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有大流体有效表面的MEMS在说明书摘要公布了：本发明涉及一MEMS包括包含一空腔的一基材。该MEMS包括一可移动层布置结构，该可移动层布置结构布置在该空腔中，该空腔包含一第一桁条、一第二桁条及布置在该第一桁条与该第二桁条之间并固定在与之电气绝缘的分立区域处的一第三桁条。该可移动层布置结构被组配用以响应于一第一桁条与一第三桁条之间的一电位、或响应于该第二桁条与该第三桁条之间的一电位而在一基材平面中沿着一移动方向进行一移动。第一、第二及第三桁条是该可移动层布置结构的一第一层的部分。该可移动层布置结构包含沿着垂直于该基材平面的一方向相邻于该第一层布置的一第二层。该第二层沿着该移动方向采可移动方式布置。

本发明授权具有大流体有效表面的MEMS在权利要求书中公布了：1.一种微机电系统，包括：一基材，包含一空腔；一可移动层布置结构，布置在该空腔中，该空腔包括一第一桁条、一第二桁条及布置在该第一桁条与该第二桁条之间并固定在与之电气绝缘的分立区域处的一第三桁条；其中该可移动层布置结构被组配用以响应于该第一桁条与该第三桁条之间的一电位、或响应于该第二桁条与该第三桁条之间的一电位而在一基材平面中沿着一移动方向进行一移动；其中第一、第二及第三桁条是该可移动层布置结构的一第一层的部分，并且该可移动层布置结构包含沿着垂直于该基材平面的一方向z相邻于该第一层布置的一第二层，其中该第二层沿着该移动方向采可移动方式布置；其中，相对于该第一层、该第二层提供用于与一流体相互作用的一附加区域；并且其中该第二层结构化成一第四桁条、一第五桁条及一第六桁条，其中该第四桁条相邻于该第一桁条布置；并且该第五桁条相邻于该第二桁条；以及该第六桁条沿着垂直于该基材平面的该方向z相邻于该第三桁条；或者其中该第一桁条、该第二桁条及该第三桁条形成一可移动元件，并且其中该第二层形成一电阻器结构以供与该空腔中的一流体相互作用，机械性连接至该可移动元件，并且连同该可移动元件一起移动及或变形。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人弗兰霍菲尔运输应用研究公司，其通讯地址为：德国慕尼黑；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。