恭喜ASML荷兰有限公司王勇新获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利具有内置电压生成器的MEMS图像形成元件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113795459B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080034482.6，技术领域涉及：B81B7/02；该发明授权具有内置电压生成器的MEMS图像形成元件是由王勇新;赖瑞霖;张乾设计研发完成，并于2020-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有内置电压生成器的MEMS图像形成元件在说明书摘要公布了：本公开描述了一种具有半导体芯片的图像形成元件，半导体芯片具有微机电系统MEMS装置210和电压生成器220，每个电压生成器被配置为：生成由MEMS装置中的一个或多个MEMS装置使用的电压。浮置接地可以用于向由电压生成器生成的电压添加电压。半导体芯片可以包括电连接235，其中每个电压生成器被配置为通过电连接来向一个或多个MEMS装置提供电压。MEMS装置可以在半导体芯片中限定边界，MEMS装置、电压生成器和电连接位于该边界内。每个MEMS装置可以生成静电场以操纵多束带电粒子显微镜的电子小束。可以基于到半导体芯片中的基准位置例如，光学轴线的距离将MEMS装置组织成组。
本发明授权具有内置电压生成器的MEMS图像形成元件在权利要求书中公布了：1.一种半导体芯片，包括：多个微机电系统装置；多个电压生成器，所述电压生成器中的每个电压生成器被配置为：生成由所述微机电系统装置中的对应的一个或多个微机电系统装置使用的电压，其中所述电压包括初级电压与次级电压的相加；以及多个电连接，所述电压生成器中的每个电压生成器被配置为：通过所述电连接中的一个或多个电连接，向所述一个或多个微机电系统装置提供所述电压，其中所述微机电系统装置中的每个微机电系统装置被配置为：生成电场以操纵多束带电粒子显微镜中的多个电子小束中的电子小束。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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