恭喜ASMIP私人控股有限公司金成培获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASMIP私人控股有限公司申请的专利包括分析排出气体的使用气相反应器系统的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117405320B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311160500.7,技术领域涉及:G01M3/26;该发明授权包括分析排出气体的使用气相反应器系统的方法是由金成培;权学龙;金英民;金基康;李承桓设计研发完成,并于2020-06-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本包括分析排出气体的使用气相反应器系统的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了用于进行气相反应器系统的泄漏检查的方法和系统。示例性系统包括:第一排气系统,所述第一排气系统经由第一排气管线联接到反应腔室;旁路管线,所述旁路管线联接到气体供应单元且联接到第一排气系统;气体检测器,所述气体检测器经由连接管线联接到旁路管线;连接管线阀,所述连接管线阀联接到连接管线;以及第二排气系统,所述第二排气系统联接到连接管线。方法包括使用第二排气系统来使连接管线排气,从而去除原本可能会影响气体检测器的准确度的连接管线中的残余气体。
本发明授权包括分析排出气体的使用气相反应器系统的方法在权利要求书中公布了:1.一种使用气相反应器系统的方法,所述方法包括以下步骤:提供气相反应器系统,所述气相反应器系统包括:反应腔室;气体供应单元,所述气体供应单元经由气体供应管线联接到所述反应腔室;第一排气系统,所述第一排气系统经由第一排气管线联接到所述反应腔室;旁路管线,所述旁路管线联接到所述气体供应单元和所述第一排气系统;气体检测器,所述气体检测器经由连接管线联接到所述旁路管线;连接管线阀,所述连接管线阀联接到所述连接管线;以及第二排气系统,所述第二排气系统联接到所述连接管线;使所述连接管线排气;使用所述气体检测器,分析从所述气相反应器系统排出的气体。
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