恭喜佳能株式会社大石伸司获国家专利权
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龙图腾网恭喜佳能株式会社申请的专利载置台装置、图案形成装置以及物品的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113904609B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110669542.8,技术领域涉及:H02P23/14;该发明授权载置台装置、图案形成装置以及物品的制造方法是由大石伸司;茂木威史;田井将纪设计研发完成,并于2021-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本载置台装置、图案形成装置以及物品的制造方法在说明书摘要公布了:本发明涉及载置台装置、图案形成装置以及物品的制造方法。为了提供能够在维持吞吐量的提高的同时抑制定位精度的降低的载置台装置,本发明所涉及的载置台装置具备:载置台;驱动部,驱动载置台;第1及第2放大器,分别将通过利用脉冲宽度调制控制及线性控制来放大输入信号而得到的输出信号输出给驱动部;切换器,将第1及第2放大器与驱动部之间的第1及第2连接设为接通或者设为关断;以及控制部,根据用于驱动载置台的指令值来对输入信号进行运算并输出给第1及第2放大器,其中,控制部根据载置台及驱动部的参数和指令值以使第2放大器的输出电压收敛于最大输出电压的方式决定切换器的切换条件,根据决定的切换条件来控制切换器。
本发明授权载置台装置、图案形成装置以及物品的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种载置台装置,其特征在于,具备:载置台;用于驱动该载置台的马达;第1放大器,将通过利用脉冲宽度调制控制来放大输入信号而得到的输出信号输出给所述马达;第2放大器,将通过利用线性控制来放大所述输入信号而得到的输出信号输出给所述马达;切换器,能够切换所述第1放大器与所述马达之间的连接,并且能够切换所述第2放大器与所述马达之间的连接;以及控制部,其中,所述控制部根据所述切换器的切换条件来控制所述切换器,所述切换器的切换条件是根据基于所述马达的参数和与所述载置台的驱动有关的指令值求出的所述马达中的负载电流波形及负载电压波形,以使所述第2放大器的输出电压收敛于最大输出电压的方式决定的,所述参数包括所述马达的电阻值、所述马达的电感值、所述马达的推力常数以及所述载置台的质量。
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