恭喜卡尔蔡司(上海)管理有限公司;卡尔蔡司显微镜有限责任公司焦龙庵获国家专利权
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龙图腾网恭喜卡尔蔡司(上海)管理有限公司;卡尔蔡司显微镜有限责任公司申请的专利芯片的检测系统及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113871313B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110874600.0，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权芯片的检测系统及检测方法是由焦龙庵;V.维斯瓦纳坦设计研发完成，并于2021-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本芯片的检测系统及检测方法在说明书摘要公布了：本公开涉及一种芯片的检测系统及检测方法。所述检测系统包括：样品台，用于支撑所述芯片；X射线成像装置，配置为获得所述芯片的X射线图像；控制装置，配置为根据所述X射线图像确定所述芯片中目标区域的位置信息；和局部加工装置，配置为生成能量束，并将所述能量束聚焦于所述芯片上以局部加工所述芯片。
本发明授权芯片的检测系统及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种芯片的检测系统，包括：样品台，用于支撑所述芯片；X射线成像装置，配置为在所述芯片的表面上方且获得所述芯片的X射线图像；控制装置，配置为根据所述X射线图像确定所述芯片内部的目标区域的位置信息；和局部加工装置，配置为生成能量束，并将所述能量束聚焦于所述芯片上以局部加工所述芯片，其中，所述局部加工装置配置为在所述目标区域附近的所述芯片的表面上形成基准标记，在所述目标区域附近的所述芯片的表面上形成所述基准标记的步骤之前，所述检测系统使用所述X射线成像装置获得所述芯片的整体X射线图像以及识别所述目标区域，并确定所述基准标记的位置，在形成所述基准标记之后，所述X射线成像装置获得所述目标区域的X射线图像，所述控制装置配置为根据所述目标区域的X射线图像确定所述目标区域相对于所述基准标记在所述芯片的表面上的位置以及确定所述目标区域相对于所述基准标记的深度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人卡尔蔡司(上海)管理有限公司;卡尔蔡司显微镜有限责任公司，其通讯地址为：200131 上海自由贸易试验区美约路60号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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