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龙图腾网恭喜北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇(天津)半导体材料有限公司;博宇(朝阳)半导体科技有限公司申请的专利一种蒸镀装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113802095B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111163706.6，技术领域涉及：C23C14/26；该发明授权一种蒸镀装置是由何军舫;王军勇设计研发完成，并于2021-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种蒸镀装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种蒸镀装置，蒸镀装置包括加热腔、加热电极和电极连接结构。加热腔包括加热筒和设于所述加热筒底部的加热底壳；加热电极用于为加热腔提供热源；电极连接结构用于将所述加热腔和所述加热底壳连接。本发明实施例中，加热电极设置于加热腔的加热底壳上，设置于加热底壳上不与加热腔的外围设备存在位置干涉，实现从蒸镀设备的上部开口处安装及取出，有利于加热器的维护以及更换。

本发明授权一种蒸镀装置在权利要求书中公布了：1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：加热腔20，所述加热腔20包括加热筒21和设于所述加热筒21底部的加热底壳22，所述加热底壳22呈环形；加热电极160，所述加热电极160的数量为多个，多个所述加热电极160阵列布置于所述加热底壳22，所述加热电极160用于为加热腔20提供电源；电极连接结构140，用于将所述加热腔20和所述加热底壳22连接；加热电极（160）配置为可形变，其与电极连接结构（140）和外接电极（65）软连接；加热电极（160）包括至少包括两条电极丝，其中，各电极丝螺旋缠绕以形成麻花状的加热电极（160）；第一反射件（52），设置于加热腔（20）内，第一反射件（52）形成为遮盖加热电极（160）与加热腔（20）的连接处；第一反射件（52）配置为通过第二连接件（53）形成于加热腔（20）内；其中，第一反射件（52）包括绝缘层（521）、间隔件（522）和反射层（523），间隔件（522）配置为将绝缘层（521）和反射层（523）间隔布置；反射层（523）用于阻挡加热腔（20）内的热量由加热腔（20）的底部散失，绝缘层（521）用于对加热电极（160）与加热腔（20）的连接处进行防护；保温筒（10）套置于加热腔（20）外周，保温部（40）设置于保温筒（10）的底端；第二连接件（53）一端连接保温部（40），第二连接件（53）的另一端连接第一反射件（52），其中，第一反射件（52）配置为通过第二连接件（53）形成于加热腔（20）内，且第二连接件（53）形成为镂空；水冷套（60）套设于保温筒（10）外壁，支撑座固定件（70）用于将水冷套（60）与支撑座（50）固定连接；其中，支撑座（50）配置为通过支撑座固定件（70）与保温部（40）间隔设置。

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