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龙图腾网恭喜江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种半导体晶圆贴磨抛自动化生产线获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114883226B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210652531.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种半导体晶圆贴磨抛自动化生产线是由崔思远;赵元亚;吴琼琼;金从龙设计研发完成，并于2022-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆贴磨抛自动化生产线在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体晶圆贴磨抛自动化生产线，包括陶瓷盘贴蜡系统、晶圆抛光系统、脱蜡取片系统与总控系统；陶瓷盘贴蜡系统包括贴蜡机、取片机械手与贴蜡机械手，取片机械手用于将晶圆转移至贴蜡机内，并通过陶瓷盘堆叠机构将陶瓷盘输送轨道上的陶瓷盘堆叠在可运动的陶瓷盘存储架内；晶圆抛光系统包括抛光机与陶瓷盘机械手，抛光机械手用于将贴设有经抛光晶圆的陶瓷盘抓取放置于陶瓷盘存储架内；脱蜡取片系统包括脱蜡取片机与脱蜡机械手，脱蜡机械手用于将贴设于陶瓷盘表面的晶圆剥离，并通过脱蜡机械手抓取分离后的陶瓷盘放置于陶瓷盘存储架内。本发明通过各系统的协同，能够有效提升晶圆贴磨抛整体工序的生产效率。

本发明授权一种半导体晶圆贴磨抛自动化生产线在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆贴磨抛自动化生产线，其特征在于，所述生产线包括陶瓷盘贴蜡系统、晶圆抛光系统、脱蜡取片系统与总控系统；其中，所述陶瓷盘贴蜡系统包括贴蜡机、取片机械手与贴蜡机械手，所述取片机械手用于将存储在晶圆存储装置内的晶圆转移至所述贴蜡机内，所述贴蜡机械手用于将所述贴蜡机内经过贴蜡的晶圆转移至预设位置，通过贴片机械手将放置于预设位置的晶圆贴合至可沿陶瓷盘输送轨道移动的陶瓷盘上，并通过陶瓷盘堆叠机构将所述陶瓷盘输送轨道上的陶瓷盘堆叠在可运动的陶瓷盘存储架内；所述晶圆抛光系统包括抛光机与陶瓷盘机械手，所述抛光机械手用于抓取所述陶瓷盘存储架内的陶瓷盘，将陶瓷盘转移至所述抛光机的抛光盘上以通过所述抛光机进行晶圆的抛光，并将贴设有经抛光晶圆的陶瓷盘抓取放置于所述陶瓷盘存储架内；所述脱蜡取片系统包括脱蜡取片机与脱蜡机械手，所述脱蜡机械手用于抓取所述陶瓷盘存储架内的陶瓷盘，将陶瓷盘移至所述脱蜡取片机中，以通过所述脱蜡取片机将贴设于陶瓷盘表面的晶圆剥离，并通过所述脱蜡机械手抓取分离后的陶瓷盘放置于所述陶瓷盘存储架内；所述晶圆存储装置包括用于存储晶圆的晶圆盒与用于存储所述晶圆盒的料盒架，所述取片机械手设于所述料盒架与所述贴蜡机的供料位的之间位置，并通过所述取片机械手将所述晶圆盒在所述料盒架与所述供料位之间循环放置；所述晶圆存储装置的数量与所述贴蜡机的数量相等，且在所述贴蜡机的数量为多个时，每一所述晶圆存储装置与每一所述贴蜡机的位置相对，所述取片机械手通过一往复机构活动于多个所述晶圆存储装置与多个所述贴蜡机之间，以通过所述往复机构驱动所述取片机械手在多个所述晶圆存储装置与多个所述贴蜡机之间往复移动。

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