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龙图腾网恭喜中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种温度耦合的滑膜差动谐振式压力传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115683399B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211329766.5，技术领域涉及：G01L1/10；该发明授权一种温度耦合的滑膜差动谐振式压力传感器及其制备方法是由车颜贤设计研发完成，并于2022-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种温度耦合的滑膜差动谐振式压力传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种温度耦合的滑膜差动谐振式压力传感器及其制备方法，该传感器包括由下而上依次连接的导压玻璃层、压力敏感膜层和谐振结构层，且在谐振结构层的检测电极表面设置铝薄膜形成感温复合检测电极，与另一检测电极构成双检测电极。本发明传感器可利用双检测电极的检测信号进行差分计算，消除温度对传感器的耦合作用，从而能够大大的提高传感器的测量精度，实现高精度、温度耦合的压力测量，具有测量精度高、抗干扰能力强、易封装等优点，是一种性能优异的新型压力传感器，能够适应于不同温度条件下的压力测量，使用价值高，应用前景好。本发明制备方法具有制备简单、工艺可靠、能耗低、成本低等优点，适合于大规模制备，便于工业化利用。

本发明授权一种温度耦合的滑膜差动谐振式压力传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种温度耦合的滑膜差动谐振式压力传感器，其特征在于，所述滑膜差动谐振式压力传感器包括由下而上依次连接的导压玻璃层、压力敏感膜层和谐振结构层；与谐振结构层对应的压力敏感膜层的一侧面设有敞口状的空腔，空腔内底部设有四个硅岛，四个所述硅岛分别设于压力敏感膜层的压力敏感膜片的对角线上；所述谐振结构层包括主谐振梁和位于主谐振梁四周的谐振机构；所述主谐振梁由相互连接且呈对角设置的四个支撑梁组成，所述主谐振梁通过四个支撑梁连接着硅岛的顶部；所述谐振机构包括设于两个支撑梁之间与主谐振梁连接的第一梳齿结构、第二梳齿结构、第三梳齿结构、第四梳齿结构，所述第一梳齿结构和第三梳齿结构对称设置，所述第二梳齿结构和第四梳齿结构对称设置；所述第一梳齿结构包括第一可动梳齿驱动电极和第一固定梳齿驱动电极，所述第一可动梳齿驱动电极和第一固定梳齿驱动电极之间呈梳齿配合状态，形成梳齿电容；所述第二梳齿结构包括第一可动梳齿检测电极和第一固定梳齿检测电极，所述第一可动梳齿检测电极和第一固定梳齿检测电极之间呈梳齿配合状态，形成梳齿电容；所述第三梳齿结构包括第二可动梳齿驱动电极和第二固定梳齿驱动电极，所述第二可动梳齿驱动电极和第二固定梳齿驱动电极之间呈梳齿配合状态，形成梳齿电容；所述第四梳齿结构包括第二可动梳齿检测电极和第二固定梳齿检测电极，所述第二可动梳齿检测电极和第二固定梳齿检测电极之间呈梳齿配合状态，形成梳齿电容；所述第二可动梳齿检测电极上靠近压力敏感膜层的一侧还设有铝薄膜，形成感温复合检测电极。

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