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龙图腾网恭喜科磊股份有限公司申请的专利使用具有多个空间频率的叠对目标的扫描叠对计量获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117980828B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280063733.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权使用具有多个空间频率的叠对目标的扫描叠对计量是由Y·卢巴舍夫斯基;I·戈多尔;D·内格里;E·哈贾设计研发完成，并于2022-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本使用具有多个空间频率的叠对目标的扫描叠对计量在说明书摘要公布了：一种叠对计量系统可包含照明源及照明光学器件以根据测量配方在样本相对于来自所述照明源的照明运动时，用来自所述照明源的所述照明照射所述样本上的叠对目标。所述叠对目标可包含一或多个胞元，其中单胞元适合于沿着特定方向测量。此胞元可包含具有不同节距的两个或更多个光栅。此外，所述系统可包含两个或更多个光电检测器，其各自经配置以从所述两个或更多个光栅结构捕获三个衍射波瓣。所述系统可进一步包含控制器以确定与所述叠对目标的每一胞元相关联的叠对测量。

本发明授权使用具有多个空间频率的叠对目标的扫描叠对计量在权利要求书中公布了：1.一种叠对计量系统，其包括：照明源；照明子系统，其包含一或多个照明光学器件以根据测量配方在样本相对于来自所述照明源的照明运动时，用来自所述照明源的所述照明照射所述样本上的叠对目标，其中所述叠对目标包含根据所述测量配方的一或多个胞元，其中所述一或多个胞元中的至少一些包括：双光栅，其包含沿着测量方向在重叠区中以第一节距及第二节距分布的第一系列特征；及单光栅，其包含沿着所述测量方向以所述第一节距分布的第二系列特征；收集子系统，其包含一或多个收集光学器件以根据所述测量配方将由与所述第一及第二节距相关联的所述双光栅及所述单光栅两者的照明的正及负一级衍射引导到定位于光瞳平面中的一或多个检测器，其中所述一或多个检测器产生与由所述双光栅及所述单光栅两者的所述照明的所述正及负一级衍射相关联的时变干涉信号；及控制器，其通信地耦合到所述一或多个检测器，所述控制器包含一或多个处理器以执行程序指令，从而使所述一或多个处理器基于所述时变干涉信号确定所述双光栅与所述单光栅之间的叠对测量。

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