恭喜之江实验室;浙江大学匡翠方获国家专利权
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龙图腾网恭喜之江实验室;浙江大学申请的专利一种用于激光直写的光纤光刻物镜镜头获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116165850B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310119397.5,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权一种用于激光直写的光纤光刻物镜镜头是由匡翠方;张凌民;魏震;李海峰;朱大钊;丁晨良;徐良设计研发完成,并于2023-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于激光直写的光纤光刻物镜镜头在说明书摘要公布了:本说明书公开了一种用于激光直写的光纤光刻物镜镜头,该物镜镜头包括:光焦度为负的第一透镜组、光焦度为负的第二透镜组以及光焦度为正的第三透镜组,第一透镜组中包含四个光焦度依次为正、负、负、正的透镜;第二透镜组包含三个光焦度依次为负、正、负的透镜;第三透镜组中包含四个光焦度依次为正、负、正、正的透镜;第一透镜组负责接收光源,并将光源折射至第二透镜组,第二透镜组收集从第一透镜组出射的光线,并将收集的光线折射至第三透镜组,第三透镜组将光线将聚焦于基底,物镜镜头中的透镜均处于同一光轴,本说明书中的物镜镜头能够校正多种像差,特别是畸变、场曲、像散、轴向色差、倍率色差。
本发明授权一种用于激光直写的光纤光刻物镜镜头在权利要求书中公布了:1.一种用于激光直写的光纤光刻物镜镜头,其特征在于,所述物镜镜头包括:第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组,所述第一透镜组包括按照光线射入的顺序设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜,所述第一透镜组中各透镜的光焦度依次为:第一透镜的光焦度为正、第二透镜的光焦度为负、第三透镜的光焦度为负、第四透镜的光焦度为正,所述第一透镜组整体呈现出的光焦度为负,光焦度为正时表示对入射的光产生会聚作用,光焦度为负时表示对入射的光产生发散作用;所述第二透镜组包括按照光线射入的顺序设置的第五透镜、第六透镜和第七透镜,所述第二透镜组中各透镜的光焦度依次为:第五透镜的光焦度为负、第六透镜的光焦度为正、第七透镜的光焦度为负,所述第二透镜组整体呈现出的光焦度为负;所述第三透镜组包括按照光线射入的顺序设置的第八透镜、第九透镜、第十透镜和第十一透镜,所述第三透镜组中各透镜的光焦度依次为:第八透镜的光焦度为正、第九透镜的光焦度为负、第十透镜的光焦度为正、第十一透镜的光焦度为正,所述第三透镜组整体呈现出的光焦度为正;所述第一透镜组接收光源,并将光源折射至所述第二透镜组,所述第二透镜组收集从第一透镜组出射的光线,并将收集的光线折射至第三透镜组,所述第三透镜组将光线将聚焦于基底,所述物镜镜头中的透镜处于同一光轴,光阑位于所述第六透镜的后表面。
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