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龙图腾网恭喜中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种半导体设备的基片盘传送装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117198958B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311395157.4，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种半导体设备的基片盘传送装置是由叶文龙;朱勇波;陈李松;张超;刘千伍;李宣伦设计研发完成，并于2023-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体设备的基片盘传送装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种半导体设备的基片盘传送装置，包括：推杆框、双连杆组件、滑轨、连接锁和驱动组件；所述连接锁设置在推杆框前端，连接锁用于连接半导体设备腔体里的基片盘；所述双连杆组件位于推杆框内侧，双连杆组件的一端与驱动组件的输出端连接，双连杆组件的另一端与推杆框后端连接，推杆框两侧分别与滑轨滑动连接；在驱动组件的驱动下，双连杆组件先折叠后伸展，以带动推杆框沿着滑轨进行直线运动，进而实现基片盘将基片送入或拉出曝光室。本发明具有结构紧凑、操作简单、传动效率高等优点，解决了现有基片盘传送装置需占用大量长度空间、美观性差的问题，实现了基片盘在狭小空间范围的远距离传送。

本发明授权一种半导体设备的基片盘传送装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备的基片盘传送装置，其特征在于，包括：推杆框（1）、双连杆组件、滑轨（8）、连接锁（9）和驱动组件；所述连接锁（9）设置在推杆框（1）前端，连接锁（9）用于连接半导体设备腔体里的基片盘；所述双连杆组件位于推杆框（1）内侧，双连杆组件的一端与驱动组件的输出端连接，双连杆组件的另一端与推杆框（1）后端连接，推杆框（1）两侧分别与滑轨（8）滑动连接；在驱动组件的驱动下，双连杆组件先折叠后伸展，以带动推杆框（1）沿着滑轨（8）进行直线运动，进而实现基片盘将基片送入或拉出曝光室；所述双连杆组件包括第一连杆（3）和第二连杆（6），所述驱动组件包括齿轮驱动组件和同步带组件；所述第一连杆（3）的上端与齿轮驱动组件铰接，第一连杆（3）的下端与第二连杆（6）的上端铰接，第二连杆（6）的下端与推杆框（1）后端铰接；所述第一连杆（3）与第二连杆（6）的铰接处通过同步带组件与齿轮驱动组件连接，以实现第一连杆（3）和第二连杆（6）进行同步运动；所述齿轮驱动组件包括齿轮组件（2）和驱动电机（10），所述驱动电机（10）的输出端与齿轮组件（2）连接，第一连杆（3）与第二连杆（6）的铰接处通过同步带组件与齿轮组件（2）连接；所述齿轮组件（2）包括第一齿轮（21）、第二齿轮（22）和第三齿轮（23），所述第二齿轮（22）和第三齿轮（23）并排设置在第一齿轮（21）内侧，第三齿轮（23）外侧与第二齿轮（22）外侧啮合，第二齿轮（22）外侧与第一齿轮（21）内侧啮合，第一齿轮（21）外侧与同步带组件连接；所述第三齿轮（23）分别与第一连杆（3）的上端和驱动电机（10）的输出端连接，第三齿轮（23）的转动方向与第一齿轮（21）的转动方向相反，以实现第一连杆（3）和第二连杆（6）进行同步反向运动。

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