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恭喜无锡学院黄瑞获国家专利权

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龙图腾网恭喜无锡学院申请的专利一种双面双结硅基GaAs光电探测器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118136712B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410130787.7,技术领域涉及:H10F10/172;该发明授权一种双面双结硅基GaAs光电探测器及其制备方法是由黄瑞;唐明志;阚万誉;吴凯;徐昊;赵东;陶旭;王青;郭业才设计研发完成,并于2024-01-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种双面双结硅基GaAs光电探测器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种双面双结硅基GaAs光电探测器及其制备方法。本光电探测器包括GaAs衬底,所述GaAs衬底一侧依次外延生长AlxGa1‑xAs应力释放层、GaAs吸收层、AlyGa1‑yAs接触层和叉指电极;所述GaAs衬底另一侧依次外延生长绝缘层和Si薄膜层;所述Si薄膜层上设有凸起的Si脊型波导,所述Si脊型波导顶部形成有p+掺杂型Si区,靠近所述Si脊型波导两侧Si薄膜层表面形成有p++掺杂型Si区;所述p+掺杂型Si区上依次外延生长本征i‑Ge吸收层和n++掺杂型Ge层。本光电探测器无干扰地异质集成硅基锗PIN和GaAs光电探测器;本光电探测器波段宽、探测灵敏度高、体积小,适用广泛。

本发明授权一种双面双结硅基GaAs光电探测器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种双面双结硅基GaAs光电探测器,其特征在于,包括GaAs衬底(1),所述GaAs衬底(1)一侧依次外延生长AlxGa1-xAs应力释放层(2)、GaAs吸收层(3)、AlyGa1-yAs接触层(4)和叉指电极(5);所述GaAs衬底(1)另一侧外延生长绝缘层(6),所述绝缘层(6)上键合或转运压印有Si薄膜层(7);所述Si薄膜层(7)上设有凸起的Si脊型波导(8),所述Si脊型波导(8)顶部形成有p+掺杂型Si区(9),靠近所述Si脊型波导(8)两侧Si薄膜层(7)表面分别形成有p++掺杂型Si区(71);所述p+掺杂型Si区(9)上依次外延生长本征i-Ge吸收层(10)和n++掺杂型Ge层(11);所述p++掺杂型Si区(71)和n++掺杂型Ge层(11)表面依次形成第一电极层(12)和第二电极层(13);所述第一电极层(12)和第二电极层(13)均包括地极(14)和信号极(15);所述第一电极层(12)内地极(14)与p++掺杂型Si区(71)连接,所述信号极(15)与n++掺杂型Ge层(11)连接;所述第二电极层(13)内地极(14)和信号极(15)分别与第一电极层(12)内地极(14)和信号极(15)连接;所述绝缘层(6)为0.005~10μm,所述绝缘层(6)为SiO2、Si3N4或Al2O3材料的层构件;所述AlxGa1-xAs应力释放层(2)的厚度为0.01~20μm,其中x的取值范围为0<x<1。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人无锡学院,其通讯地址为:214105 江苏省无锡市锡山区锡山大道333号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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