恭喜中闼贸易(上海)有限公司王蜀豫获国家专利权
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龙图腾网恭喜中闼贸易(上海)有限公司申请的专利一种晶圆清洗抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222813552U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420579724.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆清洗抛光装置是由王蜀豫设计研发完成，并于2024-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗抛光装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体公开了一种晶圆清洗抛光装置，包括两个底座，两个所述底座上均滑动连接有支架，两个所述支架的侧面均转动安装有转轴，两个所述转轴之间固定连接有冲洗面板，所述冲洗面板的底部设置有多个喷头，且冲洗面板的顶部设置有烘干机构，其中一个所述支架上设置有用于带动冲洗面板反正的翻转机构，所述翻转机构包括电机二，所述电机二固定安装于其中一个支架的一侧；本实用新型通过设置冲洗面板和烘干机构，不仅可以对晶圆进行清洗，还可以在清洗完成后，通过翻转机构调整冲洗面板和烘干机构的位置，实用烘干机构对晶圆进行烘干，加快晶圆的干燥速度，使设备功能性多样化，提高工作效率。
本实用新型一种晶圆清洗抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗抛光装置，包括两个底座1，其特征在于：两个所述底座1上均滑动连接有支架2，两个所述支架2的侧面均转动安装有转轴3，两个所述转轴3之间固定连接有冲洗面板4，所述冲洗面板4的底部设置有多个喷头6，且冲洗面板4的顶部设置有烘干机构5，其中一个所述支架2上设置有用于带动冲洗面板4反正的翻转机构7。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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