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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利包含具有减少的盲管段的气体输送系统的衬底处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112005355B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980026700.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权包含具有减少的盲管段的气体输送系统的衬底处理系统是由拉梅什·钱德拉塞卡拉;安东尼奥·泽维尔;弗兰克·洛伦·帕斯夸里;瑞安·布拉奎尔;詹尼弗·利·佩特拉利亚;米纳克斯·马穆努鲁设计研发完成，并于2019-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本包含具有减少的盲管段的气体输送系统的衬底处理系统在说明书摘要公布了：一种气体输送系统包括2通阀，其包括设置于第一端口和第二端口之间的第一阀。4通阀包括连接至第一端口和第二端口的第一节点。旁路路径设置于第三端口和第四端口之间。第二节点沿着所述旁路路径设置。第二阀设置于第一节点和第二节点之间。歧管块限定气体流通道，所述气体流通道：被配置以将所述4通阀的所述第一端口连接至第一入口，被配置以将所述4通阀的所述第二端口连接至所述2通阀的所述第一端口，将所述4通阀的所述第三端口连接至第二入口，将所述2通阀的所述第二端口连接至第一出口，以及将所述4通阀的所述第四端口连接至第二出口。

本发明授权包含具有减少的盲管段的气体输送系统的衬底处理系统在权利要求书中公布了：1.一种用于衬底处理系统的气体输送系统，其包括：2通阀，其包括：第一端口和第二端口；以及第一阀，其设置于所述第一端口和所述第二端口之间；4通阀，其包括：第一端口、第二端口、第三端口和第四端口；第一节点，其连接至所述第一端口和所述第二端口；旁路路径，其设置于所述第三端口和所述第四端口之间；第二节点，其沿着所述第三端口和所述第四端口之间的所述旁路路径设置；以及第二阀，其设置于所述第一节点和所述第二节点之间；以及歧管块，其限定气体流通道，所述气体流通道：被配置以将所述4通阀的所述第一端口连接至第一入口；被配置以将所述4通阀的所述第二端口连接至所述2通阀的所述第一端口；被配置以将所述4通阀的所述第三端口连接至第二入口；被配置以将连接所述2通阀的所述第二端口至第一出口；以及被配置以将连接所述4通阀的所述第四端口至第二出口；第一气体源；第二气体源；歧管，其连接至所述第一入口；第三阀，其选择性地将所述第一气体源连接至所述歧管；以及第四阀，其选择性地将所述第二气体源连接至所述歧管。

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