恭喜朗姆研究公司索斯藤·利尔获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利预测在热蚀刻与原子层蚀刻中的蚀刻特性获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112088423B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980030046.9，技术领域涉及：H01L21/306；该发明授权预测在热蚀刻与原子层蚀刻中的蚀刻特性是由索斯藤·利尔;安德烈亚斯·费希尔;伊凡·L·贝瑞三世;尼莉莎·苏·德雷格;理查德·A·戈奇奥设计研发完成，并于2019-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本预测在热蚀刻与原子层蚀刻中的蚀刻特性在说明书摘要公布了：使用机器学习模型预测热蚀刻反应中的蚀刻。使用量子力学模拟来识别给定热蚀刻反应的一或多个反应路径中的蚀刻工艺的化学特性和相关能量。指示蚀刻特性的标签可与给定热蚀刻反应的化学特性和相关能量相关联。机器学习模型可使用化学特性和相关能量作为自变量以及使用标签作为不同类型的许多不同蚀刻反应的因变量来进行训练。当在机器学习模型中提供新的热蚀刻反应的化学特性和相关能量作为输入时，机器学习模型可准确地预测新的热蚀刻反应的蚀刻特性作为输出。
本发明授权预测在热蚀刻与原子层蚀刻中的蚀刻特性在权利要求书中公布了：1.一种用于预测表面层与蚀刻前体之间的反应中的蚀刻特性的方法，所述方法包括：a使用量子力学模型识别所述表面层和所述蚀刻前体之间的模拟反应中的一或多个反应路径的化学特性和相关能量；b将所述模拟反应中的所述化学特性和相关能量作为输入提供给机器学习模型；以及c使用所述机器学习模型确定所述表面层和所述蚀刻前体之间的所述模拟反应的蚀刻特性。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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