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恭喜三星显示有限公司高晙赫获国家专利权

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龙图腾网恭喜三星显示有限公司申请的专利静电卡盘单元获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110690156B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910461585.X,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权静电卡盘单元是由高晙赫;金义圭;宋珉澈;孔炳翼;文在晳;闵秀玹;李丞赈;洪承柱设计研发完成,并于2019-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

静电卡盘单元在说明书摘要公布了:提供了静电卡盘单元。静电卡盘单元包括配置成产生相对弱的静电力的第一布线部分和配置成产生相对强的静电力的第二布线部分。

本发明授权静电卡盘单元在权利要求书中公布了:1.静电卡盘单元,包括∶静电卡盘主体,包括第一布线部分和第二布线部分,所述第一布线部分和所述第二布线部分各自包括多条布线,所述多条布线配置成产生静电力以通过所述静电力在基板与掩模之间产生吸引力,其中,所述第一布线部分配置成产生比所述第二布线部分更弱的静电力,其中,所述掩模包括单元格,所述单元格中分布有多个图案孔,并且在所述单元格的端部部分中形成有台阶差部分,其中,所述第二布线部分定位成与所述台阶差部分对应。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人三星显示有限公司,其通讯地址为:韩国京畿道;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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