恭喜东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司孙伟强获国家专利权
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龙图腾网恭喜东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利带电粒子束成像装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119314844B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411854457.9，技术领域涉及：H01J37/09；该发明授权带电粒子束成像装置是由孙伟强设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本带电粒子束成像装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种带电粒子束成像装置，包括：壳体，包括多个腔体，沿平行于带电粒子束成像装置的光轴的方向，多个腔体连通；可移动光阑，设置于壳体内，且位于相邻的两个腔体之间，可移动光阑包括主体部，主体部设有多个光阑孔，多个光阑孔的孔径互不相等；主体部可移动设置，以便将任一光阑孔移动至光轴处，以使可移动光阑两测的两个腔体通过该光阑孔连通，从而允许带电粒子束沿光轴的方向穿过该光阑孔。本申请公开的带电粒子束成像装置，能够增加带电粒子束成像装置的适用范围。
本发明授权带电粒子束成像装置在权利要求书中公布了：1.一种带电粒子束成像装置，其特征在于，包括：壳体，包括多个腔体，沿平行于所述带电粒子束成像装置的光轴的方向，多个所述腔体连通；可移动光阑，设置于所述壳体内，且位于相邻的两个所述腔体之间，所述可移动光阑包括主体部，所述主体部设有多个光阑孔，多个所述光阑孔的孔径互不相等；所述主体部可移动设置，以便将任一所述光阑孔移动至所述光轴处，以使所述可移动光阑两侧的两个所述腔体通过该光阑孔连通，从而允许带电粒子束沿所述光轴的方向穿过该光阑孔，且使得相邻的两个所述腔体之间能够产生与所述光阑孔的孔径对应的真空度差值；多个所述光阑孔沿垂直所述光轴的方向排列，所述主体部沿垂直于所述光轴的方向可平移设置，所述光阑孔的排列方向和所述主体部的移动方向平行；所述可移动光阑还包括定位组件，所述定位组件沿垂直所述光轴的方向可平移设置；沿所述主体部的移动方向，所述定位组件和所述主体部可抵接设置。
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