恭喜苏州镁伽科技有限公司田松获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州镁伽科技有限公司申请的专利一种套刻标记中心定位方法及相关装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119356047B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411931237.1,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权一种套刻标记中心定位方法及相关装置是由田松设计研发完成,并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种套刻标记中心定位方法及相关装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种套刻标记中心定位方法及相关装置,涉及芯片制造技术领域,首先利用预设感兴趣区域确定套刻标记大概位置,然后通过在预设感兴趣区域内对套刻标记图像进行水平方向和垂直方向的灰度投影,生成一维灰度曲线,将套刻标记图像的二维信息降到一维,有效降低了计算数据量,然后通过对一维灰度曲线进行降噪处理得到目标曲线,降低噪声干扰,保证套刻标记中心定位的准确性和有效性,最后利用套刻标记在水平方向和垂直方向对称这一先验知识,在目标曲线的目标搜索范围内计算每个点的对称长度,得到每个点的对称长度组成的对称曲线,并将对称曲线的峰值确定为套刻标记中心,保证套刻标记中心的准确性和可靠性。
本发明授权一种套刻标记中心定位方法及相关装置在权利要求书中公布了:1.一种套刻标记中心定位方法,其特征在于,包括:在预设感兴趣区域内对套刻标记图像进行水平方向和垂直方向的灰度投影,生成水平方向的一维灰度曲线和垂直方向的一维灰度曲线,所述套刻标记图像在水平方向和垂直方向对称;分别对所述水平方向的一维灰度曲线和所述垂直方向的一维灰度曲线进行降噪处理,得到水平方向的目标曲线和垂直方向的目标曲线;通过在所述水平方向的目标曲线的目标搜索范围内计算预设点的对称长度,得到每个预设点的对称长度组成的对称曲线,将对称曲线的峰值确定为套刻标记中心的横坐标;通过在所述垂直方向的目标曲线的目标搜索范围内计算预设点的对称长度,得到每个预设点的对称长度组成的对称曲线,将对称曲线的峰值确定为套刻标记中心的纵坐标;所述套刻标记中心的横坐标以及纵坐标组合为套刻标记中心,其中,在目标搜索范围内,将预设点左边的数值和右边的数值相等的点数量作为所述预设点的对称长度。
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