恭喜无锡冠亚恒温制冷技术有限公司余抒怡获国家专利权
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龙图腾网恭喜无锡冠亚恒温制冷技术有限公司申请的专利一种半导体用双通道制冷加热切换温控系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119374279B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411944004.5,技术领域涉及:F25B49/00;该发明授权一种半导体用双通道制冷加热切换温控系统是由余抒怡;顾睿杰;吴锡灶;颜厥否设计研发完成,并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体用双通道制冷加热切换温控系统在说明书摘要公布了:本发明公开一种半导体用双通道制冷加热切换温控系统,包括:第一温控系统和第二温控系统;第一温控系统包括第一循环液回路;第二温控系统包括第二循环液回路和制冷回路;第一循环液回路包括第一循环液箱、第一循环液泵、加热器、第一阀门、第二阀门和第三阀门;第三阀门的一端与加热器和第一阀门之间的管路连接,第三阀门的另一端与第二阀门和第一循环液箱之间的管路连接;第二循环液回路包括第二循环液箱、第二循环液泵、第四阀门、第五阀门和第六阀门;第六阀门的一端与第二循环液泵和第四阀门之间的管路连接,第六阀门的另一端与第五阀门和第二循环液箱之间的管路连接。本发明的技术方案,实现快速的冷热切换,大幅缩短晶圆升降温所需的时间。
本发明授权一种半导体用双通道制冷加热切换温控系统在权利要求书中公布了:1.一种半导体用双通道制冷加热切换温控系统,其特征在于,包括:第一温控系统和第二温控系统;所述第一温控系统包括第一循环液回路;所述第二温控系统包括第二循环液回路和制冷回路,其中,所述制冷回路经过第一换热器与所述第二循环液回路形成第一换热结构;所述第一循环液回路包括第一循环液箱、第一循环液泵、加热器、第一阀门、第二阀门和第三阀门;所述第一循环液箱、所述第一循环液泵、所述加热器、所述第一阀门、客户端系统、所述第二阀门和所述第一循环液箱依次管道连接;所述第三阀门的一端与所述加热器和所述第一阀门之间的管路连接,所述第三阀门的另一端与所述第二阀门和所述第一循环液箱之间的管路连接;所述第二循环液回路包括第二循环液箱、第二循环液泵、第四阀门、第五阀门和第六阀门;所述第二循环液箱、所述第二循环液泵、所述第四阀门、所述客户端系统、所述第五阀门、所述第一换热器和所述第二循环液箱依次管道连接;所述第六阀门的一端与所述第二循环液泵和所述第四阀门之间的管路连接,所述第六阀门的另一端与所述第五阀门和所述第二循环液箱之间的管路连接;当所述客户端系统需要升温时,控制所述第三阀门、所述第四阀门和所述第五阀门关闭,并控制所述第一阀门、所述第二阀门和所述第六阀门打开;当所述客户端系统需要降温时,控制所述第一阀门、所述第二阀门和所述第六阀门关闭,并控制所述第三阀门、所述第四阀门和所述第五阀门打开。
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