恭喜华夏芯智慧光子科技(北京)有限公司曹玉晶获国家专利权
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龙图腾网恭喜华夏芯智慧光子科技(北京)有限公司申请的专利一种深腔芯片共晶贴片装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119419161B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510013494.5,技术领域涉及:H01L21/68;该发明授权一种深腔芯片共晶贴片装置及方法是由曹玉晶;李红;肖志国设计研发完成,并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种深腔芯片共晶贴片装置及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体封装技术领域,并具体公开了一种深腔芯片共晶贴片装置及方法,其装置包括:水平移动粗略控制模块控制吸嘴机械臂带动待贴片组件进行水平移动并实时获取待贴片组件的下方监控图像序列;水平移动精准控制模块基于待贴片组件的下方监控图像序列和贴片位置要求精准控制吸嘴机械臂带动待贴片组件水平移动至目标水平坐标;垂直移动粗略控制模块控制吸嘴机械臂带动待贴片组件垂直向下移动并获取组件四周监控图像序列;垂直移动精准控制模块基于组件四周监控图像序列分析出组件垂直移动停止时间戳,并在组件垂直移动停止时间戳控制吸嘴机械臂带动待贴片组件停止向下移动;用以有效提高了深腔芯片共晶贴片的精度和质量,降低了贴片误差。
本发明授权一种深腔芯片共晶贴片装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种深腔芯片共晶贴片装置,其特征在于,包括:水平移动粗略控制模块,用于控制吸嘴机械臂带动待贴片组件进行水平移动,同时,实时获取待贴片组件水平移动过程中的下方监控图像序列;水平移动精准控制模块,包括:腔口坐标定位子模块,用于基于待贴片组件的下方监控图像序列,确定出深腔芯片腔口在相机坐标系下的当前腔口坐标;水平移动精准控制子模块,用于基于贴片位置要求和深腔芯片腔口在相机坐标系下的当前腔口坐标,实时控制吸嘴机械臂带动待贴片组件水平移动至目标水平坐标,获得组件水平移动控制结果;垂直移动粗略控制模块,用于当获得组件水平移动控制结果时,则控制吸嘴机械臂带动待贴片组件垂直向下移动,同时,获取组件四周监控图像序列,其中,组件四周监控图像序列中包含的每个组件四周监控图像中包含待贴片组件与深腔芯片腔体内壁之间的完整缝隙结构;垂直移动精准控制模块,包括:缝隙图像分割提取子模块,用于利用基于形态学的缝隙图像分割方法在组件四周监控图像序列中提取出待贴片组件-腔体内壁缝隙图像序列;移动停止时间戳确定子模块,用于基于待贴片组件-腔体内壁缝隙图像序列分析出组件垂直移动停止时间戳;垂直移动停止控制子模块,用于控制吸嘴机械臂带动待贴片组件在组件垂直移动停止时间戳停止向下移动,获得深腔芯片的组件贴片结果。
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