恭喜长春长光智欧科技有限公司谢晓麟获国家专利权
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龙图腾网恭喜长春长光智欧科技有限公司申请的专利一种深紫外晶圆缺陷检测底部气帘防护装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119470273B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510045354.6，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权一种深紫外晶圆缺陷检测底部气帘防护装置是由谢晓麟;管海军;郝松涛;张继真;王超;曲贺盟设计研发完成，并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种深紫外晶圆缺陷检测底部气帘防护装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种深紫外晶圆缺陷检测底部气帘防护装置，涉及半导体技术领域，解决了气帘防护装置结构复杂、气体未匀化、气体易发生湍流以及回流的问题。本发明包括连接件和气帘件，连接件上端和晶圆缺陷检测系统连接，下端和气帘件连接，从而构成一个腔体；腔体设置于晶圆缺陷检测系统的物镜的下方；气帘件中心设置有一个通孔，朝向腔体的表面设置有T型槽，T型槽和通孔连接；向腔体内通入气体，在晶圆缺陷检测系统的物镜下方形成气帘，气体主要沿喇叭型槽方向流出。本发明直接与晶圆缺陷检测系统气路连通，通过设置的T型槽对防护装置腔体内的气流进行匀化，避免回流和湍流现象的发生，对物镜进行防护的同时，不影响对晶圆的缺陷检测。
本发明授权一种深紫外晶圆缺陷检测底部气帘防护装置在权利要求书中公布了：1.一种深紫外晶圆缺陷检测底部气帘防护装置，其特征在于：包括连接件（1）和气帘件（2），连接件（1）上端和晶圆缺陷检测系统连接，下端和气帘件（2）连接，从而构成一个腔体；所述腔体设置于晶圆缺陷检测系统的物镜的下方；气帘件（2）中心设置有一个通孔（3），朝向腔体的表面设置有T型槽（4），T型槽（4）和通孔（3）连接；被检测的晶圆设置于气帘件（2）下方；向腔体内通入气体，在晶圆缺陷检测系统的物镜下方形成气帘；所述气帘件（2）朝外的表面设置有喇叭型槽（5），喇叭型槽（5）和通孔（3）连接；所述喇叭型槽（5）和T型槽（4）分别设置于通孔（3）相对的两侧；通孔（3）面积远小于被检测晶圆的面积。
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