恭喜应用材料公司斯文·兰霍夫获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利磁悬浮系统和测量至少一个电磁致动器与铁磁元件之间的距离的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113678238B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980094622.6，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权磁悬浮系统和测量至少一个电磁致动器与铁磁元件之间的距离的方法是由斯文·兰霍夫;雷纳·厄布;亨宁·奥斯特;马丁·艾尼斯设计研发完成，并于2019-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁悬浮系统和测量至少一个电磁致动器与铁磁元件之间的距离的方法在说明书摘要公布了：描述了一种用于磁悬浮铁磁元件150的磁悬浮系统100。所述磁悬浮系统100包括至少一个电磁致动器178，所述至少一个电磁致动器与设置在电流供应系统135中的一个或多个变压器140耦接，电流供应系统135用于向所述至少一个电磁致动器178供应电流。另外，描述了一种包括磁悬浮系统的基板处理系统和一种测量至少一个电磁致动器与铁磁元件之间的距离的方法。
本发明授权磁悬浮系统和测量至少一个电磁致动器与铁磁元件之间的距离的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于磁悬浮铁磁元件150的磁悬浮系统100，所述磁悬浮系统包括至少一个电磁致动器178，所述至少一个电磁致动器178与设置在电流供应系统135中的一个或多个变压器140电感耦合，所述电流供应系统135用于向所述至少一个电磁致动器178供应电流，其中所述一个或多个变压器140被配置为提供用于确定在所述至少一个电磁致动器178与所述铁磁元件150之间的距离的一个或多个输出信号。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号