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龙图腾网恭喜广东鼎泰机器人科技有限公司申请的专利一种靶材离化冷却承载机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111809155B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010690773.2，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种靶材离化冷却承载机构是由王俊锋;袁明;王锋设计研发完成，并于2020-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种靶材离化冷却承载机构在说明书摘要公布了：本发明涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种靶材离化冷却承载机构，其包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和至少一组真空管机构；所述真空管机构包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件；外管与内管之间设置有冷却液腔；外管设置有第一进水口和第一出水口；外管的外侧套设有电磁感应线圈。本申请的靶材离化冷却承载机构通过两种冷却方式分别对靶材夹头机构所夹紧的离化靶材和真空管机构进行冷却，大大地提高了靶材离化冷却承载机构的冷却效果，保护了靶材离化冷却承载机构内部的零部件，保证靶材离化冷却承载机构能稳定地正常工作，降低了靶材离化冷却承载机构的故障率和维修率，进而降低了生产的成本。

本发明授权一种靶材离化冷却承载机构在权利要求书中公布了：1.一种靶材离化冷却承载机构，其特征在于：包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和至少一组真空管机构；所述真空管机构包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件；所述内管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，所述外管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，外管套设于内管的外侧，外管与内管之间设置有冷却液腔；所述外管设置有第一进水口和第一出水口，第一进水口和第一出水口均与冷却液腔连通；所述第一连接块连接于安装座或相邻真空管机构的第二连接块，所述第二连接块连接于相邻真空管机构的第一连接块，多个锁紧件用于将第一连接块锁紧于安装座，多个锁紧件也用于将第二连接块锁紧于相邻真空管机构的第一连接块；所述外管的外侧套设有电磁感应线圈；所述靶材夹头机构设置于安装座并位于内管的内部，靶材夹头机构用于夹紧待离化靶材；所述冷却机构设置于安装座并用于冷却靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材；所述引弧机构转动连接于安装座并位于内管的内部，驱动机构设置于安装座并用于驱动引弧机构转动，引弧机构用于使靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材产生弧斑；所述冷却机构包括水管套、进水管、出水管、出水管锁紧组件和热交换座，所述热交换座设置于安装座的一侧并位于内管的内部，水管套和出水管锁紧组件设置于安装座的另一侧；所述水管套设置有第二进水口和第二出水口，所述热交换座设置有第一容置腔、第二容置腔和通孔，通孔连通第一容置腔和第二容置腔，所述热交换座与靶材夹头机构连接，所述第一容置腔位于热交换座靠近靶材夹头机构的一端；所述出水管套设于进水管的外侧，进水管与出水管之间设置有流通间隙；所述安装座设置有安装孔，安装孔贯穿安装座，所述进水管的一端连接于水管套，进水管的另一端穿经安装孔并连接于热交换座，进水管连通第二进水口和第一容置腔；所述出水管的一端连接于水管套，出水管的另一端穿经安装孔并连接于热交换座，出水管连通第二出水口和第二容置腔；所述出水管锁紧组件用于将出水管锁紧于安装座；所述水管套设置有第三容置腔和第四容置腔，第四容置腔连通第三容置腔和外界；所述第二进水口与第三容置腔连通，所述第二出水口与第四容置腔连通；所述第三容置腔的内壁设置有第一内螺纹，进水管的外壁设置有用于与第一内螺纹螺纹连接的第一外螺纹；所述第四容置腔的内壁设置有第二内螺纹，出水管的外壁设置有用于与第二内螺纹螺纹连接的第二外螺纹。

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