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龙图腾网恭喜罗伯特·博世有限公司申请的专利用于微机械系统的制造方法和微机械系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112520687B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010984667.5，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权用于微机械系统的制造方法和微机械系统是由J·赖因穆特;T·弗里德里希设计研发完成，并于2020-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于微机械系统的制造方法和微机械系统在说明书摘要公布了：本发明提出一种用于微机械系统的制造方法和微机械系统。包括以下步骤：将第一微机械功能层施加在衬底上；在第一各向异性的蚀刻步骤中在第一微机械功能层的第一区域中构造多个二维布置的、彼此间隔开的、长形的蚀刻沟，其中，蚀刻沟在一个或两个纵向端部处通过中断区域与相邻的蚀刻沟间隔开，直至小于第一微机械功能层的厚度的第一蚀刻深度；并且在随后的各向同性的蚀刻步骤中将蚀刻沟扩展直至大于第一蚀刻深度并且小于第一微机械功能层的厚度的第二蚀刻深度，其中，蚀刻沟在第一微机械功能层的内部扩开并且下部蚀刻出中断区域，使得相邻的蚀刻沟在第一微机械功能层的内部在中断区域下方相互连接，其中，中断区域保持在第一微机械功能层的上侧上。

本发明授权用于微机械系统的制造方法和微机械系统在权利要求书中公布了：1.用于微机械系统的制造方法，所述制造方法具有以下步骤：将第一微机械功能层F1施加在衬底S上；在第一各向异性的蚀刻步骤中在所述第一微机械功能层F1的第一区域B1中构造多个二维布置的、彼此间隔开的、长形的蚀刻沟K2、K3，其中，所述蚀刻沟K2、K3在一个或两个纵向端部处通过相应的由所述第一微机械功能层F1形成的中断区域U1、U2与相邻的蚀刻沟K2、K3间隔开，所述蚀刻沟实施直至第一蚀刻深度，该第一蚀刻深度小于所述第一微机械功能层F1的厚度；并且在随后的各向同性的蚀刻步骤中将所述蚀刻沟K2、K3扩展直至第二蚀刻深度，该第二蚀刻深度大于所述第一蚀刻深度并且小于所述第一微机械功能层F1的厚度，其中，所述蚀刻沟K2、K3在所述第一微机械功能层F1的内部扩开并且所述中断区域U1、U2被下部蚀刻，使得相邻的所述蚀刻沟K2、K3在所述第一微机械功能层F1的内部在所述中断区域U1、U2下方相互连接，其中，所述中断区域U1、U2保持在所述第一微机械功能层F1的上侧处，其中，在施加所述第一微机械功能层F1之前将第一牺牲层O施加在所述衬底S上，其中，紧接着所述各向同性的蚀刻步骤在第二各向异性的蚀刻步骤中将所述蚀刻沟K2、K3蚀刻直至第三蚀刻深度，该第三蚀刻深度延伸经过所述第一微机械功能层F1的整个深度，并且所述蚀刻沟K2、K3使所述第一牺牲层O露出，其中，所述中断区域U1、U2保持在所述第一微机械功能层F1的上侧处，其中，在所述第一微机械功能层F1的下侧处形成另外的中断区域U3，所述另外的中断区域沿所述第一微机械功能层F1的深度方向朝着所述中断区域U1、U2定向，其中，通过第一和第二各向异性的蚀刻步骤以及所述各向同性的蚀刻步骤在所述第一区域B1的周边中形成另外的蚀刻沟K0、K1、K1’，其中，所述另外的蚀刻沟K0、K1、K1’具有第三多数的蚀刻沟K1、K1’，所述第三多数的蚀刻沟环形闭合地围绕所述第一区域B1。

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