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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113972153B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111212172.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体工艺设备是由韩兴;宋新丰;杨帅设计研发完成，并于2021-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体工艺设备，包括装载腔室和密封装置，装载腔室的腔室壁上具有开口，密封装置用于对开口密封，密封装置包括密封门组件、支撑架、第一驱动机构和第二驱动机构，其中：支撑架设于密封门组件，第二驱动机构设于支撑架，且与密封门组件连接，第二驱动机构和密封门组件间距可调，密封门组件通过调整第二驱动机构与密封门组件的间距，以调整与支撑架的平行度；在密封门组件与开口相对时，第二驱动机构用于驱动密封门组件远离支撑架，以使密封门组件压紧腔室壁。上述方案可以解决密封门组件对开口密封时，存在的密封可靠性差的问题。

本发明授权半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括装载腔室100和密封装置，所述装载腔室100的腔室壁110上具有开口，所述密封装置用于对所述开口密封，所述密封装置包括密封门组件200、支撑架300、第一驱动机构400和第二驱动机构500，其中：所述支撑架300设于所述密封门组件200，所述第一驱动机构400与所述支撑架300连接，用于驱动所述支撑架300移动，以使所述支撑架300带动所述密封门组件200移动至与所述开口相对或错位的位置；所述第二驱动机构500设于所述支撑架300，且与所述密封门组件200连接，所述第二驱动机构500间接的调节所述密封门组件200与所述支撑架300在所述第二驱动机构500处的间距，以调整所述密封门组件200与所述支撑架300之间的平行度，进而调整所述密封门组件200与所述腔室壁110之间的平行度；在所述密封门组件200与所述开口相对时，所述第二驱动机构500用于驱动所述密封门组件200远离所述支撑架300，以使所述密封门组件200压紧所述腔室壁110。

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