恭喜北京北方华创微电子装备有限公司白鹏展获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备及其工艺腔室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114156202B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111332533.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体工艺设备及其工艺腔室是由白鹏展设计研发完成，并于2021-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备及其工艺腔室在说明书摘要公布了：本发明公开一种半导体工艺设备及其工艺腔室，所公开的工艺腔室，包括腔室本体、加热基座、顶针、顶针支撑件和调节件，其中：顶针支撑件设于腔室本体的底壁与加热基座之间；加热基座开设有避让孔，调节件连接于顶针支撑件与腔室本体之间，且用于调节顶针支撑件相对腔室本体的位置；在第一状态下，顶针的连接端穿过避让孔、且支撑于顶针支撑件上；在第二状态下，顶针分别与避让孔和顶针支撑件分离，调节件可通过避让孔显露。上述方案可以解决半导体片材在不满足平行度要求时，调节顶针支撑件存在耗时耗力以及可靠性较差的问题。
本发明授权半导体工艺设备及其工艺腔室在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备的工艺腔室100，其特征在于，包括腔室本体200、加热基座300、顶针400、顶针支撑件500和调节件600，其中：所述顶针支撑件500设于所述腔室本体200的底壁与所述加热基座300之间；所述加热基座300开设有避让孔310，所述调节件600连接于所述顶针支撑件500与所述腔室本体200之间，且用于调节所述顶针支撑件500相对所述腔室本体200的位置；在第一状态下，所述顶针400的连接端穿过所述避让孔310、且支撑于所述顶针支撑件500上；在第二状态下，所述顶针400分别与所述避让孔310和所述顶针支撑件500分离，所述调节件600可通过所述避让孔310显露。
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