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龙图腾网恭喜上海华力微电子有限公司申请的专利缺陷自分类方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114372969B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111681769.0，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权缺陷自分类方法及系统是由胡向华;何广智设计研发完成，并于2021-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本缺陷自分类方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种缺陷自分类方法及系统，用于对晶圆上的缺陷进行自分类，其中，所述缺陷自分类方法包括：获取缺陷所在位置的图像信息；将所述图像信息转换为数字灰阶图像；对所述数字灰阶图像进行图形层次识别；以及，根据所述图形层次识别的结果判断所述缺陷的杀伤力大小，并对所述缺陷进行分类。本发明通过将缺陷所在位置的图像信息转换为数字灰阶图像来进行图形层次识别，从而在无需引入芯片设计文件GDS文件的情况下判断所述缺陷的杀伤力大小，实现缺陷自分类。

本发明授权缺陷自分类方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种缺陷自分类方法，用于对晶圆上的缺陷进行自分类，其特征在于，包括：获取缺陷所在位置的图像信息；将所述图像信息转换为数字灰阶图像；对所述数字灰阶图像进行图形层次识别；以及，根据所述图形层次识别的结果判断所述缺陷的杀伤力大小，并对所述缺陷进行分类；将所述图像信息转换为数字灰阶图像的过程包括：对所述图像信息进行小像素网格化处理，获取每个网格内的灰阶值，从而获取所述数字灰阶图像；对所述数字灰阶图像进行层次识别的过程包括：获取所述缺陷所在的缺陷图形层次及所述数字灰阶图像中包含的两个背景图形层次；获取所述缺陷图形层次和所述背景图形层次的过程包括：统计所述数字灰阶图像中各个灰阶值对应的网格数量，绘制所述灰阶值对应的网格数量的变化曲线，所述变化曲线包含三个峰值；将所述三个峰值对应的三个灰阶值中的最小值和最大值分别设置为第一中心值和第二中心值；在所述数字灰阶图像中设置若干个缺陷网格，所述缺陷网格对应的灰阶值与所述第一中心值的差值绝对值小于或等于第一设定阈值，所有所述缺陷网格构成所述缺陷图形层次；在所述数字灰阶图像中设置若干个第一背景网格，所述第一背景网格对应的灰阶值与所述第二中心值的差值绝对值小于或等于第二设定阈值，所有所述第一背景网格构成第一背景图形层次；以及，将所述数字灰阶图像中剩余的所述网格设置为第二背景网格，所有所述第二背景网格构成第二背景图形层次。

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