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龙图腾网恭喜浙江纽创科技股份有限公司申请的专利一种芯片生产用浸蚀装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115295455B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211001799.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种芯片生产用浸蚀装置是由王向农;陈雄光;王洪涛设计研发完成，并于2022-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种芯片生产用浸蚀装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种芯片生产用浸蚀装置，包括浸蚀箱，所述浸蚀箱的顶面设置有顶盖，所述浸蚀箱的一侧固定安装有合页，所述浸蚀箱和顶盖通过合页相连接；拿取组件，所述拿取组件设置在所述顶盖的顶面，用于对芯片进行拿取，工作人员可以将浸蚀液体倒入到储液盒的内部，此时浸蚀液体会通过流通口进入到固定盒的内部，工作人员可以将芯片放入到固定盒的内部，浸蚀完毕后，通过设置的驱动电机、电动推杆、丝杆、卡槽、螺纹孔、驱动板、夹持环、钢管、固定盒、电磁阀和储液盒相互配合使用下，即可对芯片进行吸附，当驱动板和夹持环复位后，可以翻转设置的顶盖，即可对钢管吸附的芯片进行取出，不需要工作人员去接触浸蚀液体，更加的安全。

本发明授权一种芯片生产用浸蚀装置在权利要求书中公布了：1.一种芯片生产用浸蚀装置，其特征在于，包括：浸蚀箱（1），所述浸蚀箱（1）的顶面设置有顶盖（2），所述浸蚀箱（1）的一侧固定安装有合页，所述浸蚀箱（1）和顶盖（2）通过合页相连接；拿取组件，所述拿取组件设置在所述顶盖（2）的顶面，用于对芯片进行拿取，所述拿取组件包括：抽气泵（3），所述抽气泵（3）固定安装在所述顶盖（2）的顶面，所述浸蚀箱（1）的一侧固定安装有PLC控制器，所述抽气泵（3）与所述PLC控制器电性连接，所述抽气泵（3）的进气口固定套接有连接管（4），所述顶盖（2）的顶面开设有卡孔（31），所述连接管（4）与所述卡孔（31）活动套接并延伸至所述浸蚀箱（1）的内部，所述连接管（4）的一端固定安装有钢管（5），所述浸蚀箱（1）的内部底面固定安装有储液盒（17），所述浸蚀箱（1）的内部两侧分别开设有卡槽（6），所述卡槽（6）的内部底面固定安装有驱动电机（7），所述驱动电机（7）与所述PLC控制器电性连接，所述驱动电机（7）驱动轴的一端固定安装有丝杆（8），所述卡槽（6）的内部活动套接有驱动板（9），所述驱动板（9）的顶面开设有螺纹孔（10），所述螺纹孔（10）与所述丝杆（8）螺纹连接，所述驱动板（9）的一侧固定安装有电动推杆（11），所述电动推杆（11）与所述PLC控制器电性连接，所述电动推杆（11）伸缩轴的一端固定安装有夹持环（12），所述储液盒（17）的内部底面固定安装有固定盒（18），所述固定盒（18）的四侧分别开设有若干个流通口（19）；所述拿取组件还包括：顶管（13），所述顶管（13）固定安装在所述卡槽（6）的内部顶面，所述顶管（13）的内部固定套接有轴承（14），所述轴承（14）的内环与所述丝杆（8）固定套接；所述驱动板（9）的两侧分别固定安装有限位块（16），所述卡槽（6）的内部两侧分别开设有限位槽（15），所述限位槽（15）与所述限位块（16）活动套接；所述浸蚀箱（1）的底面和储液盒（17）的底面分别开设有底孔（20），所述底孔（20）的内部固定套接有电磁阀（21），所述电磁阀（21）与所述PLC控制器电性连接。

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