恭喜北京北方华创微电子装备有限公司卫晶获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利射频阻抗匹配方法及系统、半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115376969B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211073347.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权射频阻抗匹配方法及系统、半导体工艺设备是由卫晶;邹丽影;陈星;韦刚;王威威;张晓博设计研发完成，并于2022-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本射频阻抗匹配方法及系统、半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种射频阻抗匹配方法及系统、半导体工艺设备。该射频阻抗匹配方法用于通过射频电源及匹配器实现半导体工艺设备的工艺腔室起辉，其包括：获取工艺配方中的匹配参数及初始扫频参数；控制匹配器中电容器组件的参数为匹配参数；控制射频电源以初始扫频参数开始自动扫频，用于使射频电源的阻抗与匹配器及工艺腔室的阻抗相等，以使工艺腔室起辉。本申请实施例实现了射频电源能从最优初始扫频参数的调用以实现工艺腔室的快速起辉及匹配，从而不仅能大幅提高工艺腔室的起辉效率，而且还能避免起辉匹配失败的情况发生，进而确保起辉及匹配的可重复性和稳定性，以大幅提高工艺结果的一致性。
本发明授权射频阻抗匹配方法及系统、半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种射频阻抗匹配方法，用于通过射频电源及匹配器实现半导体工艺设备的工艺腔室起辉，其特征在于，包括：在工艺配方中查询匹配参数及初始扫频参数；当在所述工艺配方中查询到所述匹配参数及所述初始扫频参数时，获取所述工艺配方中的所述匹配参数及所述初始扫频参数，所述初始扫频参数为射频电源开始自动扫频的起始频率；控制匹配器中电容器组件的参数为所述匹配参数；控制射频电源以所述初始扫频参数开始自动扫频，用于使所述射频电源的阻抗与所述匹配器及工艺腔室的阻抗相等，以使所述工艺腔室起辉。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号