买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜江苏鑫华半导体科技股份有限公司申请的专利电子级多晶硅的尾气处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116354311B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310349188.X，技术领域涉及：C01B3/52；该发明授权电子级多晶硅的尾气处理方法是由吴锋;徐玲锋;马一雷;田新;蒋文武设计研发完成，并于2023-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本电子级多晶硅的尾气处理方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种电子级多晶硅的尾气处理方法，在淋洗塔中利用淋洗液对尾气进行淋洗，淋洗液包括有机胺，得到分离气体和分离液，分离气体从淋洗塔的顶部排出，分离气体包括氢气，分离液中包括三氯氢硅、四氯化硅、有机胺和氯化胺；将分离液由淋洗塔输入反应器中，使得分离液与通入反应器的高沸物反应，得到待精馏液，待精馏液包括有机胺、三氯氢硅和四氯化硅，高沸物包括Si2Cl6和Si3Cl8中的至少之一；在精馏塔中对待精馏液进行精馏处理，得到精馏气体和精馏后混合液，精馏气体包括三氯氢硅和四氯化硅，精馏后混合液包括有机胺。该方法生产效率高，成本低，可有效去除电子级多晶硅尾气中的杂质。

本发明授权电子级多晶硅的尾气处理方法在权利要求书中公布了：1.一种电子级多晶硅的尾气处理方法，所述尾气包括三氯氢硅、四氯化硅、氯化氢和氢气，其特征在于，包括：在淋洗塔中利用淋洗液对所述尾气进行淋洗，所述淋洗液包括有机胺，得到分离气体和分离液，所述分离气体从所述淋洗塔的顶部排出，所述分离气体包括所述氢气，所述分离液中包括所述三氯氢硅、所述四氯化硅、所述有机胺和氯化胺；将所述分离液由所述淋洗塔输入反应器中，使得所述分离液与通入所述反应器的高沸物反应，得到待精馏液，所述待精馏液包括所述有机胺、所述三氯氢硅和所述四氯化硅，其中，所述高沸物包括Si2Cl6和Si3Cl8中的至少之一；在精馏塔中对所述待精馏液进行精馏处理，得到精馏气体和精馏后混合液，所述精馏气体包括所述三氯氢硅和所述四氯化硅，所述精馏后混合液包括所述有机胺，在所述淋洗过程中，所述氯化氢与所述有机胺发生络合形成所述氯化胺；在所述有机胺存在的条件下，所述高沸物与所述氯化胺反应生成所述三氯氢硅和所述四氯化硅。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏鑫华半导体科技股份有限公司，其通讯地址为：221004 江苏省徐州市经济技术开发区杨山路66号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。