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龙图腾网恭喜大连皓宇电子科技有限公司申请的专利工艺腔室内多工位硅片搬运机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116487304B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310470022.3，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权工艺腔室内多工位硅片搬运机构是由包驷璋;徐家庆;唐丽娜设计研发完成，并于2023-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本工艺腔室内多工位硅片搬运机构在说明书摘要公布了：本发明公开了工艺腔室内多工位硅片搬运机构，包括主轴，顶部设有晶圆传输托盘；密封组件，套接在主轴上部，实现Z向密封和旋转密封；旋转机构，与主轴下部连接，实现主轴旋转运动；Z向升降机构，与旋转机构连接，实现主轴升降运动。所述密封组件包括用于实现Z向密封的波纹管组件和用于实现旋转密封的磁流体真空密封空心轴，所述磁流体真空密封空心轴位于波纹管组件与主轴之间，在波纹管组件与磁流体真空密封空心轴端部设有磁流体防护盖。本申请通过旋转机构和Z向升降机构集成实现适用于多工位的往复旋转及升降运动，整体紧凑合理，并采用波纹管组件进行Z向密封及磁流体进行旋转真空密封的组合形式，其密封性极好，不会出现腔室泄漏现象。

本发明授权工艺腔室内多工位硅片搬运机构在权利要求书中公布了：1.工艺腔室内多工位硅片搬运机构，其特征在于，包括：主轴，顶部设有晶圆传输托盘；密封组件，套接在主轴上部，实现Z向密封和旋转密封；旋转机构，与主轴下部连接，实现主轴旋转运动；Z向升降机构，与旋转机构连接，实现主轴升降运动；所述密封组件包括用于实现Z向密封的波纹管组件和用于实现旋转密封的磁流体真空密封空心轴，所述磁流体真空密封空心轴位于波纹管组件与主轴之间，在波纹管组件与磁流体真空密封空心轴端部设有磁流体防护盖；所述波纹管组件卡接在搬运壳体上部内，且与套接在主轴上的Z向滑块端盖顶部连接，在搬运壳体上部外侧凹槽中设有壳体冷却用循环水铜管，在Z向滑块端盖外周设有磁流体冷却用循环水铜管；所述旋转机构包括位于搬运壳体下部的DD马达、圆光栅、读数头，所述读数头安装在Z向滑块端盖底部，所述DD马达内圈顶部连接有底座，该底座上面安装有圆光栅，底座内侧通过免键轴套与主轴张紧连接，在底座下面设有固定在主轴根部的限位件，当主轴向上移动至最高点时，所述限位件与底座底部内侧卡台接触。

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