恭喜中国科学院上海微系统与信息技术研究所欧欣获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请的专利一种高频声波谐振器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116781033B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310678398.3，技术领域涉及：H03H9/17；该发明授权一种高频声波谐振器及其制备方法是由欧欣;吴进波;张师斌;张丽萍;姚虎林设计研发完成，并于2023-06-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高频声波谐振器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及微电子器件领域，特别涉及一种高频声波谐振器及其制备方法。该高频声波谐振器包括由下至上依次层叠的支撑衬底、压电薄膜和叉指换能器；其中，支撑衬底的声速不低于5000米秒；高频声波谐振器的目标模式是由纵向电场激励产生的准体波模式；叉指换能器的厚度与叉指换能器的材料密度呈反比；目标模式的声速小于支撑衬底的声速。基于异质集成衬底，在简化声波谐振器结构的同时，降低欧姆损耗，提高高阶模式的机电耦合系数。
本发明授权一种高频声波谐振器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高频声波谐振器，其特征在于，包括由下至上依次层叠的支撑衬底、压电薄膜和叉指换能器；其中，所述支撑衬底的声速不低于5000米秒；所述高频声波谐振器的目标模式是由纵向电场激励产生的准体波模式；所述叉指换能器的厚度与叉指换能器的材料密度呈反比；所述目标模式的声速小于所述支撑衬底的声速;所述叉指换能器的厚度为预设值与参考叉指换能器的厚度的乘积；所述预设值为所述参考叉指换能器的材料密度与所述叉指换能器的材料密度的比值；所述叉指换能器的周期与所述目标模式的频率的乘积大于或者等于所述支撑衬底的声速的80%，且小于所述支撑衬底的声速。
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