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龙图腾网恭喜大连皓宇电子科技有限公司申请的专利一种LoadLock三层存取片调度系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117059538B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310940100.1，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种LoadLock三层存取片调度系统及方法是由孙昊强;史常龙;徐家庆;唐丽娜设计研发完成，并于2023-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种LoadLock三层存取片调度系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种LoadLock三层存取片调度系统及方法，其系统包括LoadLock分为上腔室和下腔室，每个腔室内设有上中下三层，其中上层用于放置未镀膜的晶圆，中层和下层用于放置镀膜完成的晶圆；其方法包括大气机械臂三种调度方法和真空机械臂三种调度方法；所述大气机械臂三种调度方法分别为：大气机械臂调度执行放片及取片方法、大气机械臂调度执行放片方法、大气机械臂调度执行取片方法；所述真空机械臂三种调度方法分别为：真空机械臂调度执行放片及取片方法、真空机械臂调度执行放片方法、真空机械臂调度执行取片方法。大气机械臂、真空机械臂每次不仅仅只做一个取片或者一个放片动作，可以在LoadLock门开启的时候做一套动作，避免资源浪费，大幅提高工作效率。

本发明授权一种LoadLock三层存取片调度系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种LoadLock三层存取片调度方法，其特征在于，包括大气机械臂调度执行放片及取片方法、真空机械臂调度执行放片及取片方法；所述大气机械臂调度执行放片及取片方法，具体为：大气机械臂获取未镀膜的晶圆后，如果LoadLock的上腔室或下腔室上层为空位，则判断LoadLock是否为可用状态，如果不是则等待LoadLock变成可用状态，当LoadLock为可用状态后大气机械臂获取使用权，此时LoadLock状态置为Running；获取LoadLock腔室环境，如果为真空环境，则转成大气环境；开启LoadLock大气侧门，然后大气机械臂将未镀膜的晶圆送入上腔室或下腔室的上层，LoadLock大气侧门不关闭继续保持Running状态；如果当前腔室内的中层或下层存在镀膜完成的晶圆，且该晶圆在中层或下层上的时间大于冷却时间，则大气机械臂取出该晶圆，关闭大气侧门且将LoadLock状态置为Idle；所述真空机械臂调度执行放片及取片方法，具体为：真空机械臂获取镀膜完成的晶圆后，如果LoadLock的上腔室或下腔室中层下层至少一层存在空位，则判断LoadLock是否为可用状态，如果不是则等待LoadLock变成可用状态，当LoadLock为可用状态后真空机械臂获取使用权，此时LoadLock状态置为Running；获取LoadLock腔室环境，如果为大气环境，则转成真空环境；开启LoadLock真空侧门，然后真空机械臂将镀膜完成的晶圆送入上腔室或下腔室的空位并记录放入时间，LoadLock真空侧门不关闭继续保持Running状态；如果当前腔室内的上层存在未镀膜的晶圆，则真空机械臂取出该晶圆，关闭真空侧门且将LoadLock状态置为Idle；上述方法是在LoadLock三层存取片调度系统中实施的，所述LoadLock三层存取片调度系统包括LoadLock，该LoadLock分为上腔室和下腔室，每个腔室内设有上中下三层，其中上层用于放置未镀膜的晶圆，中层和下层用于放置镀膜完成的晶圆，所述LoadLock状态为Idle或Running；LoadLock腔室环境状态为大气环境或真空环境，LoadLock大气侧门状态为开启OPEN或关闭CLOSE，LoadLock真空侧门状态为开启OPEN或关闭CLOSE。

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