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龙图腾网恭喜大连皓宇电子科技有限公司申请的专利智能传送腔取放片调度系统与方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116936430B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310940081.2，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权智能传送腔取放片调度系统与方法是由孙昊强;史常龙;徐家庆;唐丽娜设计研发完成，并于2023-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本智能传送腔取放片调度系统与方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种智能传送腔取放片调度系统与方法，其系统包括多个Loadlock、第一真空机械臂、第二真空机械臂、Transfer存储平台、大气机械臂，所述大气机械臂一侧为多个晶圆盒，另一侧两端设有交互位置，每个交互位置上罗列有多个独立设置的Loadlock，在交互位置之间设有第一真空机械臂，所述第一真空机械臂与第二真空机械臂之间为Transfer存储平台，在第二真空机械臂外周设有多个工艺腔。每个Loadlock设有对应顺序编号，所述Loadlock为上下双层结构。多个独立的LoadLock不区分出入腔，每个LoadLock都有出入的可能性，大气机械臂、第一真空机械臂、第二真空机械臂每次可以做一套取片、放片动作；并且三个机械臂独立同时运行，互不影响，有一个良好的循环减少等待的情况发生，避免资源浪费。

本发明授权智能传送腔取放片调度系统与方法在权利要求书中公布了：1.一种智能传送腔取放片调度方法，其特征在于，包括：大气机械臂从某个晶圆盒内获取未镀膜的晶圆后，送入IDLE状态且为大气环境的LoadLock内；判断其他LoadLock内是否存在镀膜完成的晶圆且放置时间大于冷却时间，如果存在则大气机械臂将顺序在前LoadLock内镀膜完成的晶圆放回至对应的晶圆盒内；如果不存在则大气机械臂继续从晶圆盒内获取未镀膜的晶圆，然后送入另一IDLE状态且为大气环境的LoadLock内；第一真空机械臂将LoadLock内未镀膜的晶圆送至Transfer存储平台上面Y2层的空位层；判断Transfer存储平台上是否存在镀膜完成的晶圆，如果存在则第一真空机械臂将镀膜完成的晶圆送至IDLE状态且为真空环境的LoadLock内进行冷却，并记下放置时间；如果不存在则第一真空机械臂继续将下一LoadLock内未镀膜的晶圆送至Transfer存储平台上面Y2层的其他空位层；第二真空机械臂将Transfer存储平台上未镀膜的晶圆送至空的工艺腔内，此时如果其他工艺腔内存在镀膜完成的晶圆，则第二真空机械臂将顺序在前镀膜完成的晶圆放置Transfer存储平台下面Y2层的空位层；如果其他工艺腔内不存在镀膜完成的晶圆，则第二真空机械臂继续从Transfer存储平台上取未镀膜的晶圆送至其他空的工艺腔内；上述方法是在智能传送腔取放片调度系统中实施的，所述系统包括多个Loadlock、第一真空机械臂、第二真空机械臂、Transfer存储平台、大气机械臂，所述大气机械臂一侧为多个晶圆盒，另一侧两端设有交互位置，每个交互位置上罗列有多个独立设置的Loadlock，在交互位置之间设有第一真空机械臂，所述第一真空机械臂与第二真空机械臂之间为Transfer存储平台，在第二真空机械臂外周设有多个工艺腔。

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