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龙图腾网恭喜大连皓宇电子科技有限公司申请的专利一种晶圆工艺位置校正系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117038550B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310991712.3，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种晶圆工艺位置校正系统及方法是由袁善旭;史常龙;徐家庆;唐丽娜设计研发完成，并于2023-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆工艺位置校正系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆工艺位置校正系统及方法，其系统包括设置在cassette传输腔体入口处的第一对对射传感器、第二对对射传感器和第三对对射传感器，每对对射传感器均包括位于cassette传输腔体顶部的上对射传感器和位于cassette传输腔体底部的下对射传感器，所述上对射传感器与下对射传感器对称设置，机械手臂将cassette传输腔体内的晶圆取出时从上对射传感器与下对射传感器之间伸回。所述第二对对射传感器位于第一对对射传感器与第三对对射传感器之间，且第一对对射传感器与第三对对射传感器之间的距离大于晶圆平边长度，所述机械手臂上开有条形孔洞。本发明通过获取晶圆多个位置数据信息，识别晶圆平边的偏转方向，进而避免晶圆平边带来的误差。

本发明授权一种晶圆工艺位置校正系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆工艺位置校正方法，其特征在于，包括先将cassette传输腔体内的基准晶圆准确放在机械手臂上，所述机械手臂承载着基准晶圆从第一对对射传感器、第二对对射传感器和第三对对射传感器之间伸回，当第二对对射传感器检测到机械手臂上的条形孔洞时，获取基准点P7，当三对对射传感器检测到基准晶圆边缘时，分别得到前左基准点P1、前中基准点P3、前右基准点P5，机械手臂继续伸回，当基准晶圆离开传感器检测位置时，分别得到后左基准点P2、后中基准点P4、后右基准点P6，后左基准点P2与前左基准点P1之间的差值为第一对对射传感器在基准晶圆上扫过的距离即左基准弦长，后右基准点P6与前右基准点P5之间的差值为第三对对射传感器在基准晶圆上扫过的距离即右基准弦长，基准晶圆圆心至左基准弦长的垂直距离为左基准横向距离，基准晶圆圆心至右基准弦长的垂直距离为右基准横向距离；后中基准点P4与基准点P7之间的距离为基准纵向距离；工作时，机械手臂从cassette传输腔体内抓取待矫正晶圆后每次伸回，会获得前左工作点P1、后左工作点P2、前中工作点P3、后中工作点P4、前右工作点P5、后右工作点P6、工作点P7，后左工作点P2与前左工作点P1之间的差值为第一对对射传感器在待矫正晶圆上扫过的距离即左工作弦长，后右工作点P6与前右工作点P5之间的差值为第三对对射传感器在待矫正晶圆上扫过的距离即右工作弦长，待矫正晶圆圆心至左工作弦长的垂直距离为左工作横向距离，待矫正晶圆圆心至右工作弦长的垂直距离为右工作横向距离；后中工作点P4与工作点P7之间的距离为工作纵向距离；获取左横向偏差和右横向偏差，所述左横向偏差为左工作横向距离与左基准横向距离之间的差值△X1，所述右横向偏差为右工作横向距离与右基准横向距离之间的差值△X2，如果差值△X1与差值△X2都在工作允许误差范围内，则取任一差值进行横向位置补偿即可，如果差值△X1与差值△X2为零，则不需要进行横向位置补偿；上述方法是在晶圆工艺位置校正系统中实施的，该系统包括设置在cassette传输腔体入口处的第一对对射传感器、第二对对射传感器和第三对对射传感器，每对对射传感器均包括位于cassette传输腔体顶部的上对射传感器和位于cassette传输腔体底部的下对射传感器，所述上对射传感器与下对射传感器对称设置，机械手臂将cassette传输腔体内的晶圆取出时从上对射传感器与下对射传感器之间伸回。

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