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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利物料路径建立方法、物料调度方法及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117894724B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410058041.X，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权物料路径建立方法、物料调度方法及半导体工艺设备是由雷星;杨洋;相会凤;雷花;徐颖;杜佳佳设计研发完成，并于2024-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本物料路径建立方法、物料调度方法及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种物料路径建立方法、物料调度方法及半导体工艺设备，该方法包括：获取工艺路径；工艺路径由物料在工艺过程中顺序经过的多个腔室构成；判断是否存在并行工艺腔室，在存在并行工艺腔室的情况下，将工艺路径拆分为基础路径和N个备用路径；其中，基础路径和N个备用路径所包括的并行工艺腔室不同，基础路径中的并行工艺腔室所连接的传输腔室为第1个传输腔室，第1个传输腔室为直接与装卸载腔室连接的传输腔室；并且第i个备用路径中的并行工艺腔室所连接的传输腔室为排列在第1个传输腔室之后的第i+1个传输腔室。本方案可以兼容并行工艺腔室执行同种工艺的情况，从而可以提高产能。

本发明授权物料路径建立方法、物料调度方法及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种物料路径建立方法，所述方法适用于半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括装卸载腔室和依次连接的N+1个传输腔室，且每个所述传输腔室均连接有至少一个工艺腔室，其特征在于，所述方法包括：获取工艺路径；所述工艺路径由物料在工艺过程中顺序经过的多个腔室构成；判断是否存在并行工艺腔室，所述并行工艺腔室为所述工艺路径中执行同种工艺且所连接的所述传输腔室不同的所述工艺腔室；在存在所述并行工艺腔室的情况下，将所述工艺路径拆分为基础路径和N个备用路径；其中，所述基础路径和所述N个备用路径所包括的所述并行工艺腔室不同，所述基础路径中的所述并行工艺腔室所连接的传输腔室为第1个传输腔室，所述第1个传输腔室为直接与所述装卸载腔室连接的所述传输腔室；并且第i个备用路径中的所述并行工艺腔室所连接的传输腔室为排列在所述第1个传输腔室之后的第i+1个传输腔室，i=1,2,...,N，N为大于0的整数，以兼容将多个所述物料传输至与所述第1个传输腔室连接的所述工艺腔室，和与所述第i+1个传输腔室连接的所述工艺腔室。

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