恭喜安徽熙泰智能科技有限公司吴玉景获国家专利权
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龙图腾网恭喜安徽熙泰智能科技有限公司申请的专利一种升温晶振装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222729887U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420207618.4,技术领域涉及:C23C14/54;该实用新型一种升温晶振装置是由吴玉景;孙晨;韦雯舰;俞贺新;贾仁猛;胡志杰设计研发完成,并于2024-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种升温晶振装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种升温晶振装置,包括装置腔体和不同膜层材料的一组蒸发源,所述装置腔体内设有监测晶振探头,所述装置腔体内对应每个蒸发源设有内腔体结构,内腔体结构中设有内置晶振探头。该升温晶振装置结构设计合理,蒸发源挡板内设有内置晶振探头,配合蒸发源挡板外部监测晶振探头,可实现多蒸发源同时升温监测,从而实现同一腔体、不同膜层材料同时升温,提高蒸镀效率。
本实用新型一种升温晶振装置在权利要求书中公布了:1.一种升温晶振装置,包括装置腔体和不同膜层材料的一组蒸发源,所述装置腔体内设有监测晶振探头,其特征在于:所述装置腔体内对应每个蒸发源设有内腔体结构,内腔体结构中设有内置晶振探头;所述内置晶振探头为并排设置的一组内置晶振探头;所述装置腔体内设有点源蒸发源和点源坩埚,点源坩埚设在对应的点源蒸发源内;所述内腔体结构为中空的蒸发源挡板,蒸发源挡板的下部对应蒸发源设有挡门;所述内腔体结构内设有滑动结构,一组内置晶振探头设在滑动结构上。
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