恭喜北京北方华创微电子装备有限公司周李邦获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利高度测量装置和半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222734933U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420286063.7，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型高度测量装置和半导体工艺设备是由周李邦;周厉颖;黄嵘彪;姚晶设计研发完成，并于2024-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本高度测量装置和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种高度测量装置和半导体工艺设备，涉及半导体加工技术领域，以解决测量工艺管内壁顶部塌陷不便的问题。高度测量装置包括测量模块和驱动模块，测量模块包括显示组件和向上伸出的测量杆组件，测量杆组件的顶端能够与工艺管的内壁顶部接触，所述显示组件用于显示所述测量杆组件的位置；驱动模块传动连接于测量模块，并用于驱动测量模块移动。其可以提高测量工艺管内壁顶部塌陷的便利性。
本实用新型高度测量装置和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种高度测量装置，应用于半导体工艺设备中，所述半导体工艺设备包括向下开口的工艺管100，所述高度测量装置用于测量所述工艺管100内壁顶部的高度，其特征在于，包括：测量模块200，包括显示组件和向上伸出的测量杆组件，所述测量杆组件的顶端能够与所述工艺管100的内壁顶部接触，所述显示组件用于显示所述测量杆组件的位置；以及，驱动模块400，传动连接于所述测量模块200，并用于驱动所述测量模块200移动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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